中古 NOVELLUS CONCEPT 2 Dual Sequel Express #9223972 を販売中
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ID: 9223972
System
User interface: C2-SCON5995
Wafer shape: Flat / Notch
No SMIF interface
No aligner option
Module A / B: Express
Process A: ARC
Process B: AEC
Load lock baratron model: Convectron
Index robot type: Index 2
TM Robot type: Mac 7
TM Robot blade: Metal
Wafer sensor: Existence
Signal tower
No fab installation
Module controller: MC1
Host interface: SECS
EMO: Push button
Front monitor: System UI LCD
Back monitor: CRT
No load lock dry pump
Slit valve insert
Slit valve type: SMC L-Motion
No TM dry pump
TM Throttle valve model: Millipore
TM Baratron model: MKS
Module A / B:
Chamber type: Express
Module controller: MC1
Chamber process: ARC
IOC Version:
IOC1 / 4.1
IOC2 / 4.1
IOC3 / 4.1
Manometer 1(10T): MKS
Manometer 2(1000T): MKS
Process clean type: Normal
HF Generator: AE RFG5500
LF Generator: AE PDX1400
RF Match: Mercury
Heater block type: (6) Stations
End point option: Dual head
Spindle top plate type: (6) Pieces
Spindle type: Ferrofluidic
Foreline gate heat option
Foreline gate valve: HVA
Throttle valve: MKS 2538-15665
Throttle valve heat option
Liquid IOC version: 4.1
No module dry pump
RF Isolation box missing
Pearl kit missing (N2O Treatment kit)
Gas / MFC Size / MFC / Model
N2 / 5 / SLM / Awra FC7800CD
N2 / 10 / SLM / Awra FC7800CD
N2O / 20 / SLM / Awra FC7800CD
NH3 / 10 / SLM / Awra FC7800CD
SÌH4 / 1 / SLM / Awra FC7800CD
O2/CF/ 20 / SLM / Awra FC7800CD
PH3/N2 / 2 / SLM / Awra FC7800CD
N2O / 1 / SLM / Awra FC7800CD
C2F6 / 5 / SLM / Awra FC7800CD
System:
Main power: 208 V, 3 Phase, 5 wires
UPS power: 120 V, 3 Phase, 3 wires.
NOVELLUS CONCEPT 2 Dual Sequel Expressは、化学プロセスやコーティングに使用される原子炉です。それは2つの内部の回転管および平らな下流の沈殿の部屋が装備されています。最高のパフォーマンスを提供しながら、スループットを最大化するように設計されています。CONCEPT 2 Dual Sequel Expressの主なコンポーネントは、上部と下部の蒸気ジェットインジェクター、同心ランプとバッフルプレート、下流のシャワーと高圧水/ガスの流れです。上部と下部の蒸気ジェット注入器は反応室に前駆体を噴霧し、それを加熱して反応させます。同心ランプとバッフルプレートは反応混合物の滞留時間を増加させ、すべての成分間のより大きな反応を可能にします。下流のシャワーは反応室の内部および外壁のあらゆる反作用プロダクトの沈殿を可能にするように設計されています。最後に、高圧の水/ガスの流れは部屋内の反作用の均等性を保障します。NOVELLUS CONCEPT 2 Dual Sequel Expressは、アクリル、酸化物、シリコーン、窒化物、炭化物など、さまざまな材料を処理する機能を備えています。化学蒸着（CVD）、物理蒸着、化学蒸着（PECVD）、スパッタ蒸着に使用できます。CONCEPT 2 Dual Sequel Expressには、熱蒸着オペレーションを処理する機能もあります。NOVELLUS CONCEPT 2 Dual Sequel Expressは、高度な制御、分析、安全機能も提供します。リモートプロダクションモニターを搭載し、ユーザーは最高のプロセスパラメータを追跡して精密な制御を保証します。また、ユーザーインターフェイスとデータロギングを改善するための統合タッチスクリーンを備えています。データ収集システムは、原子炉室内のリアルタイム生産のデータと分析を提供し、プロセスの均一性を示します。最後に、CONCEPT 2 Dual Sequel Expressには、プロセスシャットオフバルブや緊急シャットダウンボタンなどの安全機能もあります。全体として、NOVELLUS CONCEPT 2 Dual Sequel Expressは、化学処理とコーティングの効率的で安全な方法を提供します。提供される高度のレベルの制御はあらゆるプロセスの間に精密および均等性を保障します。遠隔生産のモニターおよび統合されたタッチ画面はプロセスを非常にユーザーフレンドリーにさせ、高められた効率に導きます。
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