中古 NOVELLUS Concept 2 Dual Altus Shrink #9242193 を販売中

NOVELLUS Concept 2 Dual Altus Shrinkリアクターは、半導体デバイスの製造に使用するための強力で汎用性の高いツールです。この先進的な装置は、高性能で低電力集積回路デバイスの作成に最適です。これは、デュアルチャンバー原子炉設計であり、両方のチャンバーが異なるタスクに専念しています。上部チャンバーはシュリンクエッチング用、下部チャンバーは低消費電力の方向エッチング用です。上部チャンバーのシュリンクエッチング工程により、特性を維持しつつ、2次元デバイスの特徴を小さくすることができます。これは、小型で高速な集積回路の製造において重要な部品です。このプロセスは、磁気的に強化されたプラズマ源と高効率のデュアルプリズムエッチバルブを使用して実行されるため、デバイスの機能を迅速かつ低消費電力でエッチングできます。下段は方向性エッチングチャンバーです。このチャンバーは、デバイス表面からの材料の方向除去のために化学的に補助されたイオン注入（CAI）を利用しています。これは、薄い相互接続線や接触穴などの構造や特徴をパターン化するのに役立ちます。プロセスは非常に精密であるため、これにより方向性エッチング処理がはるかに効率的になります。コンセプト2デュアルアルタスシュリンクリアクターは、ピーク性能を確保するために定期的なメンテナンスと再調整が必要であり、メーカーはこれを可能にするためのテクニカルサポートを提供します。洗浄ソリューションは、時間をかけて構築することができるグラファイトやその他の粒子を除去するために利用可能であり、デバイスで利用可能な洗練されたソフトウェアパッケージは、キャリブレーションとメンテナンスを容易にします。全体として、NOVELLUS Concept 2 Dual Altus Shrinkリアクターは、高度な集積回路デバイスを製造するための強力で柔軟なツールです。シュリンクエッチングと指向性エッチング機能の組み合わせ、およびユーザーフレンドリーなメンテナンスとキャリブレーションソフトウェアにより、半導体デバイス設計エンジニアに最適です。