中古 NOVELLUS CONCEPT 2 Dual Altus 2 #9093691 を販売中
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ID: 9093691
ウェーハサイズ: 8"
Chamber, 8"
Facility and Interface:
CVD tungsten
Wafer type: SEMI
Wafer cassette type: A198-80MB-47C02 - Fluoroware
DLCM-S Heater manometers: Yes
Altus module locations: Dual, Port 2 and 3
Facilities configuration: Bottom
Remote interconnect cable length: 75 feet
Transfer
Module A Port location: Center
Module B Port locationL Right
Primary user interface: Adjacent user interface
DLCM-S:
Modular power distribution [MPD, DUAL, ALTUS, C2PDP]: 01-298450-11
Robot Assy, Mag7, Bisymmetrik arm, DLCM: 02-262359-00
Transfer module to chamber valve (SMC valve): 02-121427-00
Throttle valve kit, DLCM-S: 04-048579-02
Loadlock gate valve, SMC: 02-133799-00
Readiness kit (if ordered as a single altus): Dual Altus ready
Software/Controls:
Module controller type: 02-272554-00 (MC3)
System controller type: 02-267883-00 (MC3)
System software (QNX): 5.1
DLCM-S IOC:
0: Type: IOC, Firmware: 4.1
2: Type: IOC, Firmware: 4.1
3: Type: IOC, Firmware: 4.1
Altus IOC:
0: Type: SIOC, Firmware: 4.30
1: Type: SIOC, Firmware: 4.30
2: Type: SIOC, Firmware: 4.30
3 (MPD): Type: IOC, Firmware: 4.10
Chase UI Kit: 02-117110-00
Process Chamber Configuration:
SHWRHD, 8", Style B: 03-00258-00
Assy, PED, 8" MOER, D.3, Semi: 02-033134-01
Excl ring, 8", 2.0 mm Oh, Semi: 15-032777-00
Indexer plate, HUB: 15-034848-00
Indexer, WF, Excl, Option, 8": 15-00934-02
Spindle assembly: 02-126697-00
Opt endpt det'r, MSTR, Alt-S: 04-120458-00
Throttle valve MKS (Pressure control valve): 27-250285-00
Gate valve: 60-10015-00
Gas Box Configuration:
A Manifold:
1: Aera FC-7800 CD, Ar / 2 SLM
3: Aera FC-7810 CD, H2, 20 SLM
B Manifold:
6: Aera FC 7810 CD, C2F6 / 2 SLM
7: Aera FC 7800 CD, O2 / 2 SLM
D Manifold:
2: Aera FC-7800 CD, SiH4 / 100 SCCM
H Manifold:
D: Aera FC-7810 CD, Ar / 20 SLM
W Manifold:
4: Aera FC-7810 CD, Ar / 20 SLM
5: Aera FC-7800 CD, WF6 / 1 SLM
C Manifold:
8: Aera FC 7810 CD, Ar / 10 SLM
9: Aera FC 7810 CD, H2 / 20 SLM
Baratron:
Altus, CAP Manometer, Heated 100 Torr: 27-10340-00
Altus, CAP Manometer, Heater 10 Torr: 27-10343-00
Altus, Backside, CAP Manometer, Heated 100 Torr: 27-10340-00
DLCM-S, Loadlock, CAP Manometer, Heated 100 Torr: 27-10340-00
DLCM-S, TM, CAP Manometer, Heated 100 Torr: 27-10340-00
Supporting remote units:
(1) Process pump per process chamber: BOC Edwards Ih1000
(1) Pedestal pump per process chamber: BOC Edwards i80
(1) TM Pump per system: BOC Edwards i80
(1) LL Pump per system: BOC Edwards i80.
NOVELLUS CONCEPT 2 Dual Altus 2は、迅速かつ効率的なエッチング処理のために設計された最先端の原子炉装置です。これは、生産歩留まりを向上させるために、迅速な応答時間とエッチングプロセスの優れた制御を提供するように特別に設計されています。CONCEPT 2デュアルAltus 2は、チャンバーレイアウトを統合した単一の共通基板プラットフォーム上に構築されており、処理パラメータの柔軟性と最適化を可能にします。このプラットフォームは、増加するデバイス要件とアプリケーションの複雑さを満たすために、最大4つのエッチチャンバーに対応できます。NOVELLUS CONCEPT 2 Dual Altus 2は、エッチングプロセスを正確に制御するために、プラズマ出力、ガス流量、圧力、温度制御を構成可能にします。エッチプロセスは、特定の顧客の要件に合わせて調整することができ、システムはプロファイル形状、層の厚さ、深さ、およびアスペクト比を厳密に制御します。CONCEPT 2 Dual Altus 2は、非常に高いエッチング速度と非常に異方性エッチプロファイルを可能にする独自のMESA（マルチエッチングソースアシスト）プロセスを含む、最新のプラズマエッチング技術を利用しています。内蔵のプラズマソースは、静電容量カップリングと誘導カップリングの両方を使用して、プロセスの柔軟性を向上させ、プロファイル制御を改善します。このユニットには、エッチングパラメータを正確に制御できる自動プラズマおよびモニタリングマシンも装備されています。さらに、エッチングプロセスの正確な温度制御を保証するために、均一なガス流量のための統合ガス分布システムと統合された温度制御が装備されています。NOVELLUS CONCEPT 2 Dual Altus 2は、非常に厳しいスループット要求を満たしながら、優れたプロセス均一性と再現性を提供します。このアセットには、高度な診断機能と幅広いプロセスモニタオプションも含まれています。このモデルは、幅広いエッチングプロセスと材料で信頼性の高い高品質の結果を保証するために幅広く認定されています。この装置はまた非常に大量のスループットが可能であり、柔軟な製造が可能で、ダウンタイムを最小限に抑えてサイクルタイムを短縮できます。CONCEPT 2 Dual Altus 2は、幅広い業界アプリケーションの要求に応える高度で柔軟なエッチングソリューションを提供します。
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