中古 NOVELLUS Concept 2 DLCM S #293762169 を販売中

NOVELLUS Concept 2 DLCM Sは、高度な半導体生産プロセスのカスタマイズと最適化に最適なソリューションを提供する高性能シングルウェーハリアクターです。原子炉室は、化学蒸着（CVD）とドライエッチング技術を使用して、低コストで均一なエッチング性能を提供するように設計されています。装置はステップおよびプロセスの量そして質の最高の柔軟性を提供します。コンセプト2 DLCM Sは、従来の原子炉よりも高いスループットと材料の均一な蒸着を提供するように設計された単一のウエハロードチャンバーを備えています。これは、簡単なカスタマイズとプロセスの最適化のためのモジュラーハードウェアとソフトウェアオプションに加えて、利用可能な最小のフットプリントでコンパクトな設計を備えています。また、リアルタイムフィードバック制御、組み込みPCベースのコントローラ、Web対応の監視および制御ユニット、データロギングおよびトレンドマシンなどの高度な技術も組み込まれています。NOVELLUS Concept 2 DLCM Sは、革新的なプラズマソースを使用して、より高い精度と精度で処理変数を制御することができます。このアセットは、優れた精度と均一性で反応イオンエッチングおよび化学蒸着プロセスを最適化します。サンプル温度は自動的に監視および維持され、ウェーハ表面に材料を正確かつ繰り返し適用することができます。装置の自動化されたプロセス制御機能は、さまざまな条件下でも一貫した結果を提供するのに役立ちます。コンセプト2 DLCM Sは、ユーザーがリアルタイムでプロセスを監視および制御できる高度なプロセス監視機能を備えています。統合されたグラフィカルユーザーインターフェイスは、信頼性が高く、プロセスパラメータ、アラーム、およびプロセスパフォーマンスデータを表示する簡単な方法を提供します。システムデータロギングとトレンドユニットは、ユーザーがプロセス関連の問題を迅速に特定して分析するのに役立ちます。全体として、NOVELLUS Concept 2 DLCM Sは、最高の柔軟性を備えた精密で一貫したシングルウェーハ処理用に設計された先進的なモジュラーリアクターです。高精度な制御、均一性、スループットを実現し、半導体加工に最適です。