中古 NOVELLUS CONCEPT 2 Altus #9248936 を販売中

NOVELLUS CONCEPT 2 Altusリアクターは、超薄膜を基板に堆積させるために使用される化学蒸着（CVD）ツールです。自動ロードロック装置、上下ガスデリバリー、オゾン系洗浄装置、高度な3次元原子炉、高精度温度制御ユニットを備えています。自動化されたロードロックマシンは、基板のチャンバへの積み下ろしを容易にし、プロセスを大幅に簡素化し、精度を向上させます。「上下ガスデリバリー」とは、シャワーヘッド、デュアルシャワーヘッド、ウォールインジェクターからなるガス配送ツールを指し、高い蒸着率と正確な配分制御を可能にします。高度な3次元原子炉は、より高いプロセスの均一性と改善された成膜速度のために特別に設計されています。この資産は、基板にフィルムを堆積するために使用される他の伝統的なウェーハオーブンの多くを置き換えます。また、精密な温度制御を可能にし、フィルムの正確かつ均一な成膜を可能にします。オゾンベースの洗浄モデルは、残留物のない堆積のための優れた最大の清浄性を提供します。酸化プロセスは、成膜前にチャンバー壁や表面から粒子や有機物を除去し、フィルムの品質を向上させます。高精度な温度制御装置により、極めて正確な温度制御が可能であり、フィルムの正確かつ均一な成膜が可能です。また、沈着時間を短縮し、基板品質を向上させる機能を提供します。全体的に、CONCEPT 2 Altusリアクターは、フィルムの品質を向上させ、沈着時間を短縮し、プロセス精度を向上させるために特別に設計された高度な機能を備えた強力なCVDツールです。ロードロックシステム、ガス供給ユニット、高度な3次元原子炉、高精度温度制御により、アルタス原子炉はさまざまな基板上に一貫した品質のフィルムを提供します。