中古 NOVELLUS CONCEPT 2 Altus #9191508 を販売中

NOVELLUS CONCEPT 2 Altusは、NOVELLUS Systems、 Inc。が開発した高温金属-有機化学蒸着（MOCVD）炉で、半導体製造の高度なプロセス向けに特別に設計されています。具体的には、シリコン以外の基板上の集積回路のための改善された誘電体と金属層を生成するために設計されています。この原子炉は、温度と蒸着速度の両方を正確に制御できる管状のホットウォール設計に基づいています。ノズルは最大1000°Cの高温を維持でき、小型では非常に精密な制御と高純度の結果が得られます。温度制御チャンバーは絶縁性に優れ、外部環境から温度変動を受けても精密かつ安定したプロセス結果が得られます。CONCEPT 2 Altusは、NOVELLUS SystemsのMOCVD原子炉ラインで最も先進的なものです。高度なコンピュータ制御装置により、線幅、厚さ、面粗さなど、さまざまなパラメータを正確に制御できます。また、フィルム成分の精密な制御を可能にし、超薄膜や均一合金膜の成膜など、より高度なアプリケーションを可能にします。NOVELLUS CONCEPT 2 Altusは、革新的なスプレー冷却技術を使用してパフォーマンスを向上させています。統合された冷却システムは結果の高められた安定性そして均等性を提供します。また、スプレーによりスループットが向上し、ユニットの稼働時間が向上します。さらに、アクティブバキュームポンピングマシンは、高速なポンプダウンを保証し、プロセス実行の間に費やす時間を削減します。全体として、CONCEPT 2 Altusは、最も厳しい半導体製造プロセスのニーズを満たすように特別に設計された高度で信頼性の高いMOCVD炉です。その革新的な設計とコンピューター制御ツールは、さまざまなパラメータとフィルム組成を正確に制御し、より複雑な技術とアプリケーションを可能にします。さらに、統合されたサーマルスプレー冷却資産とアクティブバキュームポンピングモデルは、その性能を大幅に向上させ、半導体業界において非常に貴重な資産となっています。