中古 NOVELLUS CONCEPT 2 Altus #293627308 を販売中

NOVELLUS CONCEPT 2 Altus（アルタス）は、独自のデュアルプラズマチャンバー設計を採用し、高度な加工技術をサポートするタイプの原子炉です。この設計は、成膜やエッチングなどの多数のプロセスを実行する機器の能力を効率と精度の向上で最適化するのに役立ちます。アルタス原子炉は、2つの異なるプラズマ環境を作り出す2つのチャンバーを利用しています。第1チャンバは高出力で動作し、高温高密度プラズマを生成し、第2チャンバは低出力で動作し、低温低密度プラズマを放出します。このデュアルチャンバー設計により、Altusは比類のない柔軟性を提供し、カバレッジと品質の高い均一性を備えた幅広い成膜およびエッチングプロセスをサポートします。Altusはまた、非常に安定した処理環境を維持することができ、プロセスパラメータの変動を減らすことができ、したがって、フィルム粒子、ドーピング濃度、およびプロセス再現性の面で優れたプロセス均一性を生成します。この性能は、洗練されたシースフロー管理システムによって実現され、2つのチャンバ間でシースガスを分割し、各ステージでの蒸着プロセスとエッチングプロセスの両方を制御および最適化します。アルタス炉は、製造に関しては強力なパフォーマーであるだけでなく、非常に耐久性があることに注意することが重要です。この原子炉は高品質の材料で構成されており、プロセス誘発摩耗に耐性があり、より長い期間使用することができます。さらに、Altusリアクターの内部には高度な複合材料が使用されており、メンテナンスコストの全体的な削減にも役立ちます。結論として、CONCEPT 2 Altusリアクターは、大規模または小規模製造プロセスをサポートできる高度で汎用性の高い信頼性の高い機器です。その幅広いサポートされているプロセス、優れたプロセスの均一性、および耐久性のある構造は、多くの製造施設にとって理想的な選択肢です。