中古 NOVELLUS CONCEPT 2 Altus #166554 を販売中

NOVELLUS CONCEPT 2 Altusは、半導体製造とMEMS製造のための先進的な材料蒸着のアプリケーション用に設計された最先端の原子炉です。この原子炉は幅広い機能を備えており、市場で最も強力で信頼性の高い原子炉の1つです。応力レベルが低く屈折率が高い均一な薄膜を堆積させるのに適しています。アルタスは真空処理室と電子ビーム（Eビーム）源を利用している。最大60キロボルト（kV）で動作する高出力の電子銃を使用して、蒸着プロセスの前に不要な材料を表面から除去します。このプロセスにより、層は基板により密着し、結果として生じる薄膜の安定性を高めることができます。また、従来の方法では堆積しにくい材料の堆積も可能です。このシステムには、簡単なパラメータ設定のためのインターフェイスであるSmartCardが含まれています。これは高度に構成可能なプラットフォームであり、ユーザーの仕様に基づいて堆積プロセスレシピをプログラムすることができます。さらに、CONCEPT 2 Altusには、フルオートマチックプロセス制御用の高度なコントローラとコンピュータが装備されています。これにより、単純な調整からより複雑なパラメータまで、さまざまな機能にアクセスできます。原子炉は、金属、誘電体、化合物を含むすべての種類の材料を処理することができます。堆積プロセスはLangmuir-Blodgett （LB）またはALD （atomic layer deposition）によって達成される。LBプロセスは、低分子サイズの薄膜に適しており、ALDプロセスは複雑な安定した酸化物を生成するために最適化されています。NOVELLUS CONCEPT 2 Altusには、薄膜蒸着プロセス中のエネルギー消費を低減するエネルギーマネジメントシステム（EMS）も搭載しています。これにより、運用コストとメンテナンスコストを削減し、生産歩留まりの向上につながります。さらに、コンバータとエミッタは代替品と比較して耐久性が高く、ダウンタイムが少なく、交換部品が不要です。CONCEPT 2 Altusは、高性能で低コストの蒸着機能を求めるユーザーに最適なオプションです。その高度な機能は、薄膜または代替コーティングの堆積を必要とする事実上あらゆるアプリケーションに適しています。さらに、高性能のEビームソース、SmartCardインターフェース、およびコンピュータオートメーションの組み合わせにより、材料蒸着用の最も信頼性の高い原子炉の1つになります。