中古 NOVELLUS CONCEPT 2 Altus 2 #9093688 を販売中
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ID: 9093688
ウェーハサイズ: 8"
Chamber, 8"
Facility and Interface:
Altus module locations: Dual: Port 2 and 3
WTS (backbone) facilities connection configuration: Bottom facilities installation
Remote interconnect cables: 75 feet
Modular power distribution [MPD, DUAL, ALTUS, C2PDP]: 01-298450-11
DLCM-S:
ROBOT ASSY, MAG7, BISYMMETRIK ARM, DLCM: 02-262359-00
Transfer module to chamber valve (SMC Valve): 02-121427-00
Throttle valve kit, DLCM-S: 04-048579-02
Loadlock gate valve, SMC: 02-133799-00
Readiness kit: Dual altus ready
Software/Controls:
Module controller type: 02-272554-00, MC3
System controller type: 2-267883-00, MC3
System software (QNX): 5.1
DLCM-S IOC:
0 - IOC - 4.1
2 - IOC - 4.1
3 - IOC - 4.1
Altus IOC:
0 - SIOC - 4.30
1 - SIOC - 4.30
2 - SIOC - 4.30
3 (MPD) - SIOC - 4.10
Chase UI Kit: 02-117110-00
Process Chamber configuration:
SHWRHD, 200 mm, Style B: 03-00258-00
ASSY, PED, 200 mm MOER, D.3, SEMI: 02-033134-01
EXCL RING, 200 mm, 2.0 mm OH SEMI: 15-032777-00
Indexer plate, HUB: 15-034848-00
INDEXCER, WF, EXCL, OPTION, 200 mm: 15-00934-02
Spindle assembly: 02-126697-00
OPT ENDPT DET'R, MSTR, ALT-S: 04-0120458-00
Throttle Valve MKS (Pressure control valve): 27-250285-00
Gate valve, vat: 60-10015-00
Gas box configuration (CESCVD02177B):
Manifold A 1: Aera FC-7800CD, AR/2 SLM
Manifold A 3: Aera FC-7800CD, H2/20 SLM
Manifold B 6: Aera FC-7800CD, C2F6/2 SLM
Manifold B 7: Aera FC-7800CD, O2/2 SLM
Manifold D 2: Aera FC-7800CD, SiH4/100 SCCM
Manifold H D: Aera FC-7800CD, Ar/20 SLM
Manifold W 4: Aera FC-7800CD. AR/20 SLM
Manifold W 5: Aera FC-7800CD, WF6/1 SLM
Manifold C 8: Aera FC-7800CD, Ar/10 SLM
Manifold C 9: Aera FC-7800CD, H2/20 SLM
Baratron:
Altus, CAP MANOMETER, HEATED 100 TORR: 27-10340-00
Altus, CAP MANOMETER, HEATED 10 TORR: 27-10343-00
Altus, Backside, CAP MANOMETER< HEATED 100 TORR: 27-10340-00
DLCM-S, LOADLOCK, CAP MANOMETER, HEATER 100 TORR: 27-10340-00
DLCM-S, TM, CAP MANOMETER, HEATED 100 TORR: 27-10340-00
Supporting remote units:
(1) Process pump per process chamber: BOC Edwards, IH1000 - x2 for process pump typical
(1) Pedestal pump per process chamber: BOC Edwards, i80 - x2 for pedestal pump typical
(1) TM pump per system: BOC Edwards, i80 - x1 for TM pump typical
(1) LL pump per system, BOC Edwards, i80, x1 for LL pump typical.
NOVELLUS CONCEPT 2 Altus 2は、産業処理効率を最適化するために設計された原子炉技術です。このリアクターは、信頼性の向上、処理精度の向上、スループットの高速化を可能にする機能で強化されたプロセスツールです。この原子炉は、広い温度範囲で動作し、産業部門にとって多くの有用な機能を提供します。CONCEPT 2 Altus 2リアクターの基本構成には、ボディ、ゲート、エミッター、コントロールエンクロージャ、ウェハボートなど、いくつかの部品が含まれています。原子炉本体は、長寿命と安全性を確保するために、耐久性のある材料で作られています。この原子炉のゲートは重要な構成要素であり、低エネルギーのイオンが機器に入る部分です。この原子炉のエミッタはゲートと連動して、蒸着およびエッチング処理に必要な荷電粒子を放出します。制御エンクロージャは、ユーザーがプロセスを最適化することを可能にする電源、温度制御およびデータロギングシステムを収容します。最後に、ウェーハボートはターゲット材料を収容し、処理のためのシステムに移すことを可能にする部品です。蒸着とエッチングの過程で、ユーザーは温度範囲、パワーレベル、圧力レベルを調整する必要があります。このため、NOVELLUS CONCEPT 2 Altus 2リアクターには多くの便利な機能があります。最先端の温度コントローラは指定された範囲内で正確に温度を維持し、パワーレギュレータはユニットの要件に応じて入力のレベルを調整します。このプロセスは、この原子炉で利用可能なデータロギングマシンによって監視および調整することもできます。全体として、CONCEPT 2 Altus 2リアクターは、産業処理に有用な機能を備えた信頼性の高い効率的なプロセスツールです。蒸着およびエッチング動作中の精度、速度、安全性を保証します。この原子炉はまた、さまざまな産業のニーズに合わせて大きな温度範囲を提供します。
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