中古 NOVELLUS CONCEPT 2 Altus 2 #9093687 を販売中
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ID: 9093687
ウェーハサイズ: 8"
Chamber, 8"
Facility and Interface:
Altus module locations: Dual: Port 2 and 3
WTS (backbone) facilities connection configuration: Bottom facilities installation
Remote interconnect cables: 75 feet
Modular power distribution [MPD, DUAL, ALTUS, C2PDP]: 01-298450-11
DLCM-S:
ROBOT ASSY, MAG7, BISYMMETRIK ARM, DLCM: 02-262359-00
Transfer module to chamber valve (SMC Valve): 02-121427-00
Throttle valve kit, DLCM-S: 04-048579-02
Loadlock gate valve, SMC: 02-133799-00
Readiness kit: Dual altus ready
Software/Controls:
Module controller type: 02-272554-00, MC3
System controller type: 02-267883-00, MC3
System software (QNX): 5.1
DLCM-S IOC:
0 - IOC - 4.1
2 - IOC - 4.1
3 - IOC - 4.1
Altus IOC:
0 - SIOC - 4.30
1 - SIOC - 4.30
2 - SIOC - 4.30
3 (MPD) - SIOC - 4.10
Chase UI Kit: 02-117110-00
Process Chamber configuration:
SHWRHD, 200 mm, Style B: 03-00258-00
ASSY, PED, 200 mm MOER, D.3, SEMI: 02-033134-01
EXCL RING, 200 mm, 2.0 mm OH SEMI: 15-032777-00
Indexer plate, HUB: 15-034848-00
INDEXCER, WF, EXCL, OPTION, 200 mm: 15-00934-02
Spindle assembly: 02-126697-00
OPT ENDPT DET'R, MSTR, ALT-S: 04-0120458-00
Throttle Valve MKS (Pressure control valve): 27-250285-00
Gate valve, vat: 60-10015-00
Gas box configuration (CESCVD02177B):
Manifold A 1: Aera FC-7800CD, AR/2 SLM
Manifold A 3: Aera FC-7800CD, H2/20 SLM
Manifold B 6: Aera FC-7800CD, C2F6/2 SLM
Manifold B 7: Aera FC-7800CD, O2/2 SLM
Manifold D 2: Aera FC-7800CD, SiH4/100 SCCM
Manifold H D: Aera FC-7800CD, Ar/20 SLM
Manifold W 4: Aera FC-7800CD. AR/20 SLM
Manifold W 5: Aera FC-7800CD, WF6/1 SLM
Manifold C 8: Aera FC-7800CD, Ar/10 SLM
Manifold C 9: Aera FC-7800CD, H2/20 SLM
Baratron:
Altus, CAP MANOMETER, HEATED 100 TORR: 27-10340-00
Altus, CAP MANOMETER, HEATED 10 TORR: 27-10343-00
Altus, Backside, CAP MANOMETER< HEATED 100 TORR: 27-10340-00
DLCM-S, LOADLOCK, CAP MANOMETER, HEATER 100 TORR: 27-10340-00
DLCM-S, TM, CAP MANOMETER, HEATED 100 TORR: 27-10340-00
Supporting remote units:
(1) Process pump per process chamber: BOC Edwards, IH1000 - x2 for process pump typical
(1) Pedestal pump per process chamber: BOC Edwards, i80 - x2 for pedestal pump typical
(1) TM pump per system: BOC Edwards, i80 - x1 for TM pump typical
(1) LL pump per system, BOC Edwards, i80, x1 for LL pump typical.
NOVELLUS CONCEPT 2 Altus 2は、NOVELLUS CONCEPT 2 Reactorプラットフォームのデュアル周波数デュアルソースバージョンです。この原子炉は、2段階のフラットパネルモニターとモジュラー制御装置によって監督され、非常に効率的で管理が容易です。これは、高周波エネルギーの2つの個別に調整可能なソースを備えており、幅広いプロセス制御を可能にします。高度な速度制御機能を備えており、ウェーハ全体で精密なプロセス制御と均一性を実現します。この原子炉はまた、正確な温度とガスの流れの調整を行うことができ、特殊な薄膜堆積物の正確なプロセス要件をさらに可能にします。CONCEPT 2 Altus 2リアクターは、従来の誘導結合プラズマプロセスに基づいています。プラズマを誘導するためにセルフバイアスを使用する単源II-Vベースの低圧平面原子炉です。システムは2つの周波数で動作します。低ソースの場合は13。65 MHz、高ソースの場合は27。3 MHzです。デュアル周波数設定により、プロセスの制御が強化され、パフォーマンスが向上します。この2つの周波数設定により、複数のガスストリームを使用することができ、蒸着プロセスの精密制御が可能になります。専用のパネル取り付けモニターとコントロールユニットは、ユーザーフレンドリーで効率的です。完全なプロセス監視と合理化されたパラメータ処理により、蒸着プロセスを厳密に制御できます。マルチヒート基板ポートにより、プロセス開発時に最大限の柔軟性を実現します。安全機能が内蔵されており、オペレータのエラーや機器の変更による不要なプロセスの変更を防ぐことができます。NOVELLUS CONCEPT 2 Altus 2リアクターは、高度な研究を行うための信頼性の高い効率的な機械をユーザーに提供します。フレキシブルなモジュール設計により、ラピッドプロトタイピングとラボスケールの生産が可能です。その包括的な制御ツールは、プロセスが最も厳しい仕様に従って行われることを保証します。この最先端の原子炉は、IC製造業界の最新技術とニーズに対応するために継続的にアップグレードされています。CONCEPT 2 Altus 2リアクターは、さまざまな薄膜構造を製造するための信頼性が高く効率的なツールです。
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