中古 NOVELLUS Chambers for Inova #9355346 を販売中

ID: 9355346
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2012
Metal PVD system, 12" 2012 vintage.
NOVELLUS Chambers for Inovaは、入力パラメータと出力パラメータの両方を正確に再現可能な制御を提供する高度なプロセスリアクタです。この原子炉は、ユーザーが必要な結果を最小限に抑えて正確かつ一貫して得ることができます。半導体、マイクロエレクトロニクス、フォトニクスなど、エレクトロニクス業界で使用される材料や部品の製造に最適です。Inova用のチャンバーは、真空チャンバーと反応チャンバーの2つのチャンバーで構成されています。真空チャンバはプロセス材料の圧力を低減するために使用され、反応チャンバは材料を混合および反応させるために使用されます。どちらのチャンバーも、化学反応を正確に制御するためのガスと温度調節を備えています。さらに、反応チャンバーは高度な流量と温度監視機能を備えており、レシピを正確に調整することができます。NOVELLUS Chambers for Inovaには、フィルムの厚さと残留時間をリアルタイムでフィードバックする静電容量センサも内蔵されています。この機能は、ユーザーが一貫した歩留まりと結果を得るために堆積プロセスを監視および最適化するのに役立ちます。Inovaのための部屋は使いやすく、維持するように設計されています。これは、ユーザーフレンドリーなグラフィカルインターフェイスとオンボードレシピ作成ツールを備えた完全に統合された制御システムを備えています。これにより、カスタマイズされたレシピの開発が簡素化され、新しい機器のユーザーに共通する学習曲線が軽減されます。NOVELLUS Chambers for Inovaは、圧力解放バルブや緊急遮断システムなどの高度な安全機能も備えています。これらの機能により、潜在的に危険な材料を安全に使用でき、事故や怪我のリスクを低減できます。全体的に、Chambers for Inovaは強力で効率的なプロセスリアクターを提供し、ユーザーにプロセスの優れた制御を提供します。このチャンバーは、最先端の材料と部品の実験と生産に最適です。また、ユーザーが安全で快適な作業環境を確保します。
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