中古 NOVELLUS Chambers for Inova #9282131 を販売中

NOVELLUS Chambers for Inovaは、先端材料の加工用に設計された原子炉です。この原子炉は、330 MHz、 8 kWの誘導プラズマ発生器を備えたPECVDチャンバーです。深さ66cmの円筒形のチャンバーと、0。3〜0。7 Torrの圧力範囲でHFプラズマを含むように設計されたトッププレートを備えています。このチャンバーは、高温で高い沈着率と均一性を必要とする生地に最適です。この原子炉は、20°Cから1100°Cまでの広い温度範囲を達成することができ、このチャンバーで幅広いプロセスを実行することができます。Chambers for Inovaの中核は誘導プラズマ発生器であり、チャンバの信頼性の高い動作のための重要なコンポーネントです。プラズマジェネレータは、プラズマの信頼性と電力を向上させるために、AC電源をDC電源に変換するマルチチャネルトランスを採用しています。その後、AC電流は多数のコイルを通過し、プラズマを発生させる電界を作り出します。この装置は、プラズマが沈着プロセスの期間にわたって一貫していることを保証するために、電源と帯域幅で設計されています。チャンバはまた、チャンバ内の均一性を確保するためにプラズマパラメータを監視および制御するように設計された動的制御システムを誇っています。制御ユニットは、プラズマジェネレータ内のチャンネルポテンシャルのレベルを監視し、チャンバー内の圧力を監視します。さらに、制御装置は、プラズマの力を調整して、加工されている材料の損傷のリスクを最小限に抑えることができます。NOVELLUS Chambers for Inovaは、20°C以下の低温で高い蒸着率を達成できるため、高効率を実現するように設計されています。さらに、このチャンバーは、成膜速度誤差が非常に低い大面積に対して均一な成膜速度を達成することができます。この原子炉は、高精度と高効率の組み合わせにより、高性能の先端材料を製造するための理想的な選択肢です。