中古 NOVELLUS C3 WTS #9240252 を販売中
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NOVELLUS C3 WTSは、最新のマイクロエレクトロニクスデバイスのコスト効率と効率的な生産を可能にする高性能熱処理炉です。これは、同じクラスの他の原子炉のスループットと品質の最大3倍を提供することができる高度な熱処理リアクタです。C3 WTSは、3立方フィート以上のチャンバー容積を有し、基板の最高900°Cの温度までの急速な熱処理を可能にします。これは、高速窒素を使用して正確な温度制御を保証する垂直マルチゾーンガスフロー装置に基づいています。NOVELLUS C3 WTSは、クローズドループフィードバックユニットと複数のガスフロー制限機を備えた高度な温度制御システムを搭載しており、正確な温度ゾーンのセグメンテーションを可能にします。その陶磁器の部屋はさみ金は耐久性が高く、温度の広い範囲への長期露出に抗できます。統合された絶縁材は熱の損失を最小にするように設計されています、有効なプロセス操作および安定した温度を保障します。また、C3 WTSには、予知保全作業を監視および可能にする多数のセンサーを含む高度なプロセス制御技術が組み込まれています。この原子炉には、自動洗浄、データ収集、トレンド分析、サイクル最適化、サンプルトラッキングなどの機能も含まれています。この原子炉には高度なプロセス制御が装備されており、正確な温度制御と均一性を実現しています。これにより、NOVELLUS C3 WTSで処理されるすべての基板に対して一貫した性能と再現性が保証されます。また、精度と安定した性能を提供するように設計された高度なデジタル温度コントローラを使用しています。全体として、C3 WTSは最新のマイクロエレクトロニクスデバイスを効率的かつコスト効率よく製造するために設計された高性能熱処理炉です。高度な温度制御ツールにより、正確な温度制御と均一性が保証され、統合されたセンサーにより、予知保全作業と長期的な耐久性が可能になります。NOVELLUS C3 WTSは、信頼性の高いパフォーマンス、効率的な操作、および複数のプロセス制御機能を備え、最新のマイクロエレクトロニクス処理施設にとって貴重な資産です。
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