中古 NOVELLUS 02-267288-00 #293657512 を販売中

NOVELLUS 02-267288-00は半導体産業のエッチング工程で使用される原子炉です。このタイプの原子炉は、特にエッチングされた領域を通して均一性と再現性を備えた高速で正確なエッチング速度を提供するように設計されています。02-267288-00原子炉は、堆積物を除去するだけでなく、基板に正確な設計パターンを置くために使用されます。原子炉は、ロードロックチャンバー、充填チャンバ、プラズマチャンバー、排気チャンバを含む4セクションマシンです。ロードロックチャンバーは、基板をプラズマエッチングプロセスの位置にロードおよびアンロードします。充填チャンバは、プラズマチャンバーに指定されたエッチングガスを充填し、正確な体積制御を行い、適切な均一性とプロセス再現性を確保します。プラズマチャンバーは、高圧超冷却環境で動作し、高均一エッチング率を提供します。エキゾーストチャンバーには、チャンバー内のプラズマ蒸着を含む特殊なエキゾーストバッフルが含まれています。NOVELLUS 02-267288-00原子炉は、シリコンベース、金属ベース、窒化物、およびその他の材料を含む幅広い基板を処理することができます。原子炉はまた、ブラインドまたは埋め込まれた特徴を持つ基板を正確に処理することができます。これにより、設計パターンが保持され、基板のすべての領域で正確なエッチング速度が維持されます。原子炉は高周波電源を使用して交互の電磁界を生成し、プラズマを生成します。このプラズマは、必要な正確なエッチング速度で基板をエッチングするために使用されます。原子炉はナノメートルスケールまでの精度でエッチングするように設計されており、材料のクリーンで再現性のある除去を可能にします。エッチング工程を正確に制御するために、02-267288-00原子炉は温度、圧力、RF電力などの重要なパラメータを監視することもできます。この原子炉は、プラズマ不安定性や化学的不均衡などのプロセス異常を検出することもできます。プロセス異常が発生した場合、原子炉は安定した均一なエッチング率を確保するために是正措置を講じることができます。全体として、NOVELLUS 02-267288-00リアクターは、半導体エッチング工程において信頼性の高い堅牢なツールです。均一なエッチング速度と正確なデザインパターン制御により、デザインパターンが高い信頼性で保持されます。この原子炉は、ナノメートルスケールの精度で正確にエッチングすることができ、あらゆるプロセス異常を検出して、迅速に是正措置を講じることができます。