中古 NOVELLUS 02-134264-00 #293663402 を販売中

NOVELLUS 02-134264-00原子炉は、高性能エッチングおよび蒸着アプリケーション用に設計された最先端のプラズマ処理装置です。この先進的な原子炉は、超高出力プラズマ源と動的プロセス制御を利用しており、幅広い基板や材料に適しています。02-134264-00リアクターには、プラズマ制御プラットフォームが統合されており、精密な現場プロセス監視が可能です。このプラットフォームは、イオン電流、RF電力、ソース温度、リアクタント分布などの様々なプラズマパラメータを監視し、一貫したエッチングおよび蒸着動作を保証します。プロセスの最適化をさらに促進するために、制御プラットフォームはユーザー定義のリアルタイムレポート機能を生成できます。基板互換性の観点から、NOVELLUS 02-134264-00原子炉は、金属、酸化物、窒化物、複合物などの幅広い表面にエッチングおよび堆積することができます。このシステムのダイナミックなパワーレンジは、さまざまな表面や基板に信頼性の高いエッチングと成膜を保証します。02-134264-00原子炉には高度な安全機能も装備されています。一体化されたプロセス安全ユニットは、原子炉の温度、圧力、電力レベルを監視し、信頼性の高い安全なプラズマ処理操作を確実に維持します。さらに、原子炉はUL Certifiedであり、すべての安全要件を満たしていることを保証します。その物理設計のために、NOVELLUS 02-134264-00原子炉は、高精度の小型、放射状のガス分配ネットワークで設計されています。この高効率な分布ネットワークにより、プラズマ負荷がチャンバー全体に適切に分散され、最適な性能と信頼性が保証されます。また、モジュラー構造と設置面積が小さいため、設置とメンテナンスが容易です。要約すると、02-134264-00リアクターは、エッチングおよび蒸着アプリケーション用に設計された先進的なプラズマ処理機です。その統合されたプラズマ制御プラットフォームは、正確な現場プロセス監視を保証します。基板の互換性とダイナミックなパワーレンジにより、幅広い材料において信頼性の高いエッチングおよび成膜動作が可能です。また、プラズマ処理に最適な安全性を提供する高度な安全機能を備えています。最後に、高精度のラジアルガス配電ネットワークと小さなフットプリントにより、このユニットの設置とメンテナンスが容易になります。