中古 NAURA / AKRION iTOPS A230 #293639722 を販売中

NAURA/AKRION iTOPS A230は、マイクロエレクトロニクスプロセスで使用される誘導結合プラズマ（ICP）原子炉です。この原子炉は、微細構造、超薄膜、および高アスペクト比の穴の堆積を可能にする高性能、技術的に高度な装置です。高度なナノマテリアルや半導体製造の製造に最適なソリューションです。NAURA iTOPS A230は、電磁コイルに高周波交換電流を印加して動作し、磁気モーメントを持つ多極誘導電場を生成します。このフィールドは、標的材料の局所加熱を生成し、イオン化と呼ばれるプロセスを引き起こします。この過程では、磁場によって対象物質の電子が原子核の周りを公転し、材料を高温に加熱すると電子が壊れてイオン化された粒子が形成されます。これらのイオン化された粒子は、チャンバー内の他の粒子と反応し、磁場を使用して操作して、望ましい微細構造、フィルムまたは穴のパターンを堆積させることができます。AKRION iTOPS A230は、強力な多極誘導フィールドに加えて、独自のソース・ガス供給システムを採用しています。反応室内で使用されるガスの圧力と流量を制御し、精密な沈着パラメータを最適化します。この精度は、最高品質のフィルム性能を維持するために不可欠です。さらに、iTOPS A230は複数のツール構成に対応でき、生産プロセスに最大限の柔軟性を提供します。ユーザーの利便性のために、NAURA/AKRION iTOPS A230は、幅広い安全機能を備えて設計されています。モーターとインターロックにより、部品交換時にライブパーツへのアクセスを防ぎ、UV照明とパワーモニタリングシステムにより運転時の安全性を確保します。さらに、原子炉は毎回実行後に自動的にクールダウンされ、汚染から保護されます。NAURA iTOPS A230は、高度なナノマテリアル、フィルム、マイクロストラクチャーの製造用に特別に設計された信頼性の高い先進的なICP炉です。強力な多極誘導フィールド、ソース・ガス供給システム、組み込みの安全機能、カスタマイズ可能なツール構成により、高品質の製品を生産するために必要な精度と柔軟性をユーザーに提供します。