中古 MRC / TEL / TOKYO ELECTRON Exim #293609622 を販売中

MRC/TEL/TOKYO ELECTRON EXIMは、電子部品や材料の開発に使用される化学蒸着（CVD）ツールです。この原子炉は、高純度プロセスチャンバー環境、幅広いプロセス範囲、および精密なプロセス制御を提供するように設計されています。MRC Eximリアクターは、主に半導体ウェーハおよびフラットパネルディスプレイの製造に使用されます。TEL Exim Reactorファミリーは、XE100、 XE200、 XE300の3種類のマシンで構成され、それぞれ異なる機能を提供するように設計されています。XE100は基本的に単一のウェーハツールであり、経済的でありながら複数のバッチ処理機能を提供する汎用性の高いプラットフォームです。XE200はやや複雑で、複雑な酸化物のエッチングや成膜などの高性能シングルウェハアプリケーション向けに設計されています。そして最後に、XE300モデルはMRCプロセス制御システムとの統合と完全なバッチ処理能力を提供する3つの中で最も先進的です。東京電子エキシム原子炉は、堅牢な半導体製造環境の要件に応じて、主にステンレス鋼から構成されています。この設計には、ウェーハの挿入と加工のためのプロセスチャンバーと、プラズマ発生のためのポート、化学薬品の注入、加熱素子、副生成物の避難が含まれています。さらに、プロセス中に発生する有害物質や蒸気から人員を保護するための安全機能もあります。この原子炉は、急速な熱アニーリング、MOCVD、 PECVD、エッチング、フォトプロダクションプロセスなど、さまざまなプロセスパラメータをサポートするように設計されています。これらのプロセスは、必要な化学前駆体をガス状に導入することによって達成されます。温度、圧力、およびチャンバー内のさまざまな気体環境を正確に操作することにより、非常に正確で反復可能な電子部品や材料を開発することができます。Eximシリーズのリアクターは、高精度で信頼性の高い電子部品や材料を作成するために使用できる非常に柔軟で堅牢なツールです。この原子炉は、幅広いプロセス能力と正確なプロセス制御を通じて、あらゆる最新の半導体製造施設にとって貴重なツールです。