中古 LAM RESEARCH Striker #293616563 を販売中

LAM RESEARCH Strikerは、100ナノメートルの大きさの複雑なナノメートルスケールの構造を製造することを可能にする誘導結合プラズマ（ICP）原子炉です。ストライカーリアクターは、高度な技術、信頼性の高いハードウェア、直感的なソフトウェアコントロールを組み合わせ、ユーザーフレンドリーなデバイスを作成するシングルウェーハ装置です。この原子炉は、原子炉内のガスに磁場を加えて電子が励起するときに発生する誘導結合プラズマ（ICP）と呼ばれる特殊な種類のプラズマを利用しています。ICPプラズマは、100nm以下の機能の製造に非常に効果的で有益です。LAM RESEARCH Striker Reactorで使用されるガスは通常アルゴンですが、他のガスも使用できます。また、運転を簡素化する先進的な制御システムであるEnduraを採用しています。ストライカーは設置面積が小さく、実験室環境に適しています。このユニットは、最適化された沈着均一性と粒子沈着のために設計されています。LAM RESEARCH Strikerマシンは、リアクティブイオンエッチング（RIE）処理前の基板洗浄と低電圧基板爆撃も提供します。ストライカーのプロセスチャンバーは密閉され、再現可能な無線周波数（RF）発電機に接続されています。この発電機は振動する電磁界を発生させ、チャンバー内の電子を励起させます。プラズマの生成には、内部のガス密度がちょうどよいように、チャンバー内で低レベルの真空を維持する必要があります。LAM RESEARCH Strikerツールには、優れたフィルム均一性を確保するために、制御資産の制御下で加熱または冷却することができる基板チャックもあります。また、マルチコアのデータ収集モデルを備えているため、プロセスパラメータの監視が容易になります。また、ウェーハの積載を容易にするための自動ウェーハリフティング機構も備えています。全体として、LAM RESEARCHによるStriker Reactorは、ナノメートルスケール構造の製造に必要な機能を提供する信頼性の高いユーザーフレンドリーなデバイスです。それは高度なICP技術を利用し、ユーザーエクスペリエンスをできるだけ直感的かつシンプルにするために必要なハードウェアとソフトウェアを持っています。これは、複雑なナノメートルスケールの構造を製造するために探している人のための素晴らしい選択肢です。