中古 LAM RESEARCH STRATA-GX #293654487 を販売中
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ID: 293654487
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2016
CVD System, 12"
EFEM
Gas box
AC Rack
Monitor
2016 vintage.
LAM RESEARCH STRATA-GXは、半導体などの先端材料用途におけるプラズマ処理用に設計された次世代原子炉です。この原子炉はタンデムチャンバー型であり、プラズマの発生と処理条件を正確に制御することができます。最初のチャンバーには、イオン源、中性子、中性ビームなど、さまざまな高度なスラスタがあります。これらの部品は素晴らしい電力効率の高密度プラズマの生産を可能にします。2番目のチャンバーには、電極、壁、シールド、エッチングまたは堆積ターゲットなどの主要なプロセス部品が含まれています。STRATA-GXリアクターは、最高レベルの性能と安全性を提供することを目的として、ユーザーフレンドリーな自動化とプロセス制御で設計されています。エンドエフェクター、センサー、アナライザなど、必要なすべてのコンポーネントが原子炉に統合され、最適な性能を保証します。高度なプロセス制御アルゴリズムにより、プロセスパラメータを正確にリアルタイムに調整し、精度と再現性を最大化します。LAM RESEARCH STRATA-GXリアクターは、プラズマプロセスの品質を保証するための高度な診断機能も備えています。ビーム電流モニタリング、プラズマ電子温度測定、化学組成解析、基板表面イメージングなどのさまざまな診断がシステムに統合されており、包括的なプロセス洞察が可能です。また、STRATA-GX原子炉では安全性も広く考慮されています。この原子炉には、温度制限、室圧監視、プラズマハザード封じ込めなど、さまざまな安全機能が装備されています。さらに、原子炉には、潜在的なリスクを検出して対応するためのさまざまな洗練された安全プロトコルが装備されています。LAM RESEARCH STRATA-GXリアクターは、数多くの半導体および先端材料加工アプリケーションに理想的なシステムであり、高度なプロセス機能、正確なプロセス監視および診断、および包括的な安全機能を提供します。この信頼性の高い、現場で実証されたシステムは、最も要求の厳しいアプリケーションにプラズマ処理結果を成功させます。
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