中古 LAM RESEARCH STRATA-GX #293626279 を販売中
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LAM RESEARCH STRATA-GXは、多種多様な基板に高度なエッチング処理能力を提供するように設計された高性能の誘導結合型プラズマベースの原子炉です。チャンバー構造とコンポーネントのリアクターの組み合わせにより、プロセス速度を向上させ、再現性のある高密度プラズマ（HDP）処理を可能にします。STRATA-GXリアクターは、MEMS、ディープシリコン、バイオメディカル、フラットパネルディスプレイなど、さまざまな用途に、幾何学的に均一で高速なエッチングを提供します。この原子炉は、マルチポイントサセプター、3ゾーンのリニアインダクタブルプラズマ（LICP）ソースと均一な電力供給システムを組み合わせており、さまざまなプロセスフローと複数のエッチング速度で再現可能な結果を生成できます。LAM RESEARCH STRATA-GXは、幅広いプロセスウィンドウで優れた均一性を提供することにより、プラズマ損傷をさらに低減し、エッチング処理を最適化するように設計されています。STRATA-GXリアクターの設計により、プラズマ密度制御、カスタム圧力プロファイル、複数のプラズマのタイミング、多点均一性、および電力制御など、幅広いプロセスパラメータが可能になります。この柔軟性により、ユーザーはエッチング性能を最適化し、高度なプロセス制御の恩恵を受けることができます。LAM RESEARCH STRATA-GXは、粒子形成とエッチング損傷を軽減するプラズマ化学相互作用に最適化されています。原子炉には最適化されたパルス幅変調（PWM）制御機能があり、リアクタントと製品ガスの両方を制御できます。PWM機能により、リアクタントの可動性がさらに制御され、より均一なエッジバイアスエッチングが可能になります。STRATA-GXはまた、基板上に大きな開口部を配置することを可能にする高度な開口システムを備えており、より高いエッチング速度でより高い均一性を保証します。絞りシステムは、エッチングの選択性を向上させるのにも役立ちます。LAM RESEARCH STRATA-GXリアクターは、大容量のデバイス生産に比類のないスループットを提供し、既存のほとんどのエッチング処理コンポーネントとも下位互換性があります。STRATA-GXは、エッチング生産能力の競争上の優位性を獲得しようとするデバイスエンジニアにとって理想的なツールです。
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