中古 LAM RESEARCH SOLA #9314232 を販売中

LAM RESEARCH SOLAリアクターは、原子スケールの材料蒸着のための先進的で最先端の柔軟なプラズマベースの蒸着ツールです。主に、薄膜成膜、静電スパッタリング、超薄膜成膜など、さまざまな半導体および表面エンジニアリング用途向けに設計されています。このツールは、NADSPL （Non-Activated Dual Source Dual Electrode Plasma）アーキテクチャを使用して、超薄膜（通常は0。01ハイパナノメートル未満）の高精度で再現可能な蒸着を可能にします。NADSPLベースのSOLAでは、2つの独立したRF源が2つの異なるプラズマ源を生成するために使用されます。主要な沈殿プロセスのための1つ、および工作物をエッチングするための1。LAM RESEARCH SOLAの設計は、シングルリアクタのデュアルプラズマ機能を単一のパッケージで提供し、プロセスのスループットを大幅に向上させます。SOLAはまた、高度なイオン化制御と多電力プラズマ源と多位置プラズマ源の範囲を提供します。マルチパワーソースは基板全体にわたってウェーハプロファイルを最適化することができ、マルチポジションのソースは蒸着プロセス中のプロセス条件を正確に制御することができます。LAM RESEARCH SOLAには、幅広い専門センサー、マルチセンサー温度制御、現在入手可能な最高精度のエンコーダ機器など、最新の技術が搭載されています。このシステムにより、プロセスチャンバー内に材料を正確に配置することができ、高水準の品質と性能を満たす製品の作成が容易になります。SOLAはまた、環境中の粒子汚染を軽減するための高度なユニットを備えています。この機械には、粒子トラップ、フィルタ、およびプロセスガス組成を制御するためのシステムが含まれています。これにより、プロセスはオペレータと生産された最終製品の両方にとって安全であることが保証されます。全体的に、LAM RESEARCH SOLAツールは、超薄膜やその他の複雑な原子スケール材料の堆積のための高度なツールです。製品の品質を向上させ、プロセスコストを削減し、無駄な時間を最小限に抑えるさまざまな先進技術を備えています。