中古 LAM RESEARCH SOLA #9312000 を販売中

LAM RESEARCH SOLAは、半導体生産性とデバイス収率を最大化するために設計された最先端の原子炉技術です。SOLA技術は、優れた均一性、再現性、および蒸着速度制御を提供するプラズマ強化CVD （PECVD）蒸着装置です。このシステムは、低圧で動作し、優れた適合性とステップカバレッジを備えた高品質のフィルムを実現することができます。このユニットは、4つの独立して制御されたガス源を使用して、さまざまな蒸着構成を行います。高度なタイミングマシンは、フィルムの成長プロファイルを制御するのに役立つすべてのリアクタント間の正確な同期のために組み込まれています。プロセスチャンバーは、均一なガス配分のためのシャワーヘッドや、高精度のターゲットとソースのガス投与を可能にする射出モジュールの範囲などのアクセサリの範囲で構成することもできます。また、低温の均一性を維持しながら、急速な加熱/冷却の両方が可能な高度な熱制御アセットも備えています。これは、不必要な熱応力なしに信頼性の高い堆積プロセスレシピから高い収率を達成するのに役立ちます。熱制御モデルは、赤外線ヒーター、ターボ分子ポンプ、コールドカソードを組み合わせてプロセス環境を管理します。さらに、装置には、プロセスパラメータを最適に制御し、潜在的な危険から人員を保護するための多数の安全監視システムが装備されています。このシステムには、リーク検出器、インターロック、および信頼性の高いプロセス制御と監視ユニット操作を維持するためのさまざまなプロセス制御アラームが含まれています。全体として、LAM RESEARCH SOLAは信頼性と再現性に優れた最先端の技術であり、優れた均一性、蒸着速度制御、およびフィルム品質を提供します。SOLAは優れた性能により、オプトエレクトロニクスから特殊化学薬品まで、幅広い業界の用途に適しています。