中古 LAM RESEARCH Sabre #9200240 を販売中

LAM RESEARCH Sabreは、LAM RESEARCHが半導体用途に向けて開発した高性能プラズマエッチング装置です。このシステムは、独自のマルチモードプロセスチャンバーを活用して、エッチングの柔軟性を高め、お客様がプロセスの優れた深度と高い選択性を達成できるようにします。Sabreプロセスチャンバーは、エッチングに最適化された高度な中空カソード設計を使用しています。高いエッチング率、均一なエッチプロファイル、優れた選択性を提供するように設計されています。このユニットには堅牢なRFジェネレータが付属しているため、ユーザーは希望するエッチプロファイルのパラメータを素早く設定および調整できます。このマシンは、さまざまなエッチングレシピに最適なパフォーマンスを提供するために調整することができます。ユーザーは、ニーズに応じて、さまざまなチャンバー構成から選択することもできます。このツールは、単一またはデュアルガスシャワーヘッダーで構成でき、お客様は特定のアプリケーションに最適なオプションを選択できます。LAM RESEARCH Sabreプロセスチャンバーはまた、精密なエッチング制御と再現性を可能にするLAM RESEARCH SureGrip™技術を使用しています。このチャンバーにはアクティブなプラズマコリメータも組み込まれており、エッチングの均一性とプロセスの再現性を向上させます。さらに、Sabreアセットには、ユーザーがパフォーマンス目標を迅速に達成できるようにするためのプロセス制御ソフトウェアが含まれています。LAM RESEARCH Sabreモデルは、深いエッチングや浅いエッチングなど、さまざまなエッチング処理に使用できます。超小型機能のマイクロマシニングに最適で、ドライエッチングやフォトレジストエッチングにも使用できます。また、ガス流量が少ないため、消費ガスを最小限に抑えることができます。全体的に、LAM RESEARCHのSabre炉は、優れたエッチング性能と信頼性を提供する高性能エッチングシステムです。その幅広い構成性と機能により、多くの半導体プロセスに最適な選択肢となり、ユーザーのニーズに効果的なソリューションを提供します。