中古 LAM RESEARCH Sabre #9167356 を販売中

LAM RESEARCH SABREは、高度なプラズマエッチングソリューションを提供するように設計された一種のプラズマエッチング炉です。このシステムは、低圧プラズマプロセスと高圧プラズマプロセスの両方を同じマシンで提供する業界初のシステムの1つであり、お客様は時間とコストの両方を節約できます。高圧エッチングプロセスは、接触や金属エッチングなどの用途に最適で、低圧プロセスは誘電材料のエッチングに最適です。この原子炉は完成したドライエッチャーであり、追加のガス分配システム（GDS）を必要とせずに低圧および高圧エッチングプロセスを提供することができます。SABREは、ウェーハのあらゆるレベルで優れた均一性を提供し、より高い歩留まりと最高品質の部品を保証します。また、コーナーカルテット技術も備えており、プロセス工程を最小限に抑えながら、より大きな形状よりも高い製品品質を提供します。LAM RESEARCH SABREは、高速エッチング速度、優れたプロセス制御と再現性、組み込みのプロセスデータベースサポート、数分でさまざまなレシピのキャリブレーション機能なども提供します。このリアクターは、iMapなどのFabレベルのオートメーションシステムと完全に統合されているため、このシステムは自動ファブに最適です。SABREの内蔵ソフトウェアとシングルウェーハローディング（SWL）機能により、セットアップと操作が容易になり、高いスループットと柔軟性を実現します。SWL機能を使用すると、適切なエッチングチャンバー温度、ターゲット圧力、プリフィルガス流量、プロセスレシピを選択できます。これにより、ユーザーの貴重な時間を節約し、手動作業を排除します。LAM RESEARCH SABREは、プロセスの信頼性、安定性、生産性を向上させるように設計されています。これは、ユーザーが生産性を高め、コストを削減することを可能にする迅速なツールの起動時間と堅牢なレシピを提供します。統合プロセスデータベース、自動レシピ開発、コーナーカルテット技術により、システムは使いやすく、信頼性が高く、柔軟性があります。プラズマエッチングのニーズに最適です。