中古 LAM RESEARCH Sabre XT #9223294 を販売中
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販売された
ID: 9223294
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2007
Electro copper plating system, 8"
Wafer cassette: 25 Wafer
Mini-environment: SYNETICS
Chase computer/monitor: Desktop PC/CRT
Exhaust kit: Top mount
Drain kit: Backside
Cassette handler module:
Load port: Static nests, (4) stations
Wafer aligner type: Mechanical center finder
Robot type: AQR7 BROOKS
End effector: SST x/Vacuum port
Mapping type: Thru-beam
Wafer release: With puff
Plating cell configuration:
Cell 1 / Cell 2 / Cell 3:
Clamshell type: Standard
Clamshell cup type: PPS
Clamshell cylinder: Pressure vacuum cylinder
ANODE Type: Standard
(2) TI Cables
SAC
Clamshell lift: IAI
ACR
Active top hat
Plating power: AE Pulse power supply
Post plating cell configuration:
Cell 1 / Cell 2 / Cell 3:
Chuck type: PPS
Wafer present sensor mount: Standard
EBR
Bath Module
Totalizer #1 / #2: FLORITE
Dosing pump 1 / 2 / 3: MS1602-024
Recirculation pump mpdel: IWAKI WALCHEM CMD-101
CDM Level sensor type: KEYANCE
Heat exchanger: NESLAB HX-75
Auxiliary equipment:
Chemical monitoring system (CMS): ECI QLC-7000
Chemical delivery system (CDS)
Mini delivery system (MDS)
DI Water delivery system
Input voltage: 208 VAC, 50/60 Hz, 100 A
2007 vintage.
LAM RESEARCH Sabre XTは、半導体産業におけるエッチングおよび蒸着プロセスを最適化するように設計された、低圧、マルチチャンバー、大気プラズマ機器です。Sabre製品ファミリーの第2世代であり、LAM RESEARCHエンジニアによる広範な研究の結果です。Sabre XTは、パフォーマンスとプロセス制御を向上させるための高度な技術を備えています。蒸着チャンバーのブリードを低減する磁気結合多段システムを搭載し、エッチングの選択性とプロファイル機能をより良く制御します。また、エッチング室内の均一な蒸着率を確保し、最適な結果を得るために設計された低圧、4ゾーン、発火ヒーターのプロセスを備えています。さらに、LAM RESEARCH Sabre XTには、均一なプロセス制御と最適化のための分散型パワーリレーユニットとPMC （Process Monitoring and Control）ソフトウェアパッケージも含まれています。Sabre XTはまた、プロセスオートメーションとカスタマイズのための「プログラム可能な」チャンバーを誇っています。これにより、エッチングおよびデポジットプロセスパラメータを正確に制御し、スループットとエッチング収率をさらに向上させることができます。LAM RESEARCH Sabre XTにはパーティクルマスカーとフィルターマシンがあり、パーティクルビルドアップの影響を軽減し、よりクリーンで均一な反応面を確保します。Sabre XTは、DRAM、フラッシュメモリ、マイクロコントローラ、プログラマブルロジック、CPU、 メモリIC、 SoCなど、さまざまな半導体製品の生産を支援するために設計された汎用性の高いツールです。多くの生産ラインにとって業界標準の資産であり、エッチング深度調整やリソグラフィなどのハイエンドなプロセスを実行することができます。原子炉は信頼性が高く、故障の平均時間は2万時間です。LAM RESEARCH Sabre XTは、あらゆる半導体生産ラインに最適な堅牢で信頼性の高い原子炉モデルです。Sabre XTは、高度な技術、プログラマブルチャンバー、優れたパーティクルマスカーおよびフィルター装置により、エッチングおよび蒸着プロセスで最高品質を達成するための完璧なソリューションです。
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