中古 LAM RESEARCH Sabre 3D #293620476 を販売中

LAM RESEARCH Sabre 3Dは、革新的なエッチングと蒸着プロセスを可能にするように設計された先進的な原子炉で、さまざまな業界で優れた製造能力を実現します。これは、3次元（3D）アーキテクチャだけでなく、高アスペクト比スケーリングが可能な2つのモジュラーチャンバーオプションを備えています。また、Sabre 3Dは、メンテナンスの必要性を最小限に抑えて低所有コストを実現する自動配置プロセスも備えています。高度なハードウェアとソフトウェアの最適化により、リアクターは生産レベルと研究レベルの両方のアプリケーションに必要な高品質のパフォーマンス、再現性、および信頼性を保証します。LAM RESEARCH Sabre 3Dの主な特徴は、優れたエッチング精度とオーバーラップ制御、堅牢な蒸着速度と優れた均一性、および汎用性の高い材料互換性です。モジュラーチャンバーオプション、自動配置プロセス、高度なハードウェア/ソフトウェア最適化により、市場投入までの時間がさらに短縮されます。エッチング精度のために、原子炉は新しいRF磁場と等方性の対称性のあるエッチングプロファイルを活用して、プロセスの再現性を向上させます。蒸着速度と均一性のために、Sabre 3Dは優れた平面化特性を有する高いフィルム成長率とコンフォーマルフィルムを可能にします。システム全体を最適な用途に最適化し、優れたエッチングおよび成膜プロセスをより短時間で、優れた均一性で完了させることができます。さらに、ハードウェアコンポーネントは1つの統合ユニットとして設計されており、効率的なパフォーマンスと使いやすさを提供します。3ガスインジェクション機能を活用し、2ガスシステムよりも高い効率を実現します。さらに、LAM RESEARCH Sabre 3Dは、動的な圧力と温度制御を備えているため、原子炉は幅広い動作環境で動作すると同時に、最高レベルの精度と再現性を得ることができます。材料の互換性の観点から、Sabre 3Dはレジストベースのエッチングと成膜に完全に適しており、重要な寸法（CD）、特徴の均一性、およびフィルム上のカバレッジを制御するために最適化されています。また、誘電体、導体、絶縁体などの他のフィルムにも使用でき、幅広い用途に適しています。要するに、LAM RESEARCH Sabre 3Dは、画期的なエッチングと蒸着プロセスを可能にするように設計された先進的な原子炉です。これは、優れたエッチング精度とオーバーラップ制御と高い蒸着速度と均一性と高度なハードウェア/ソフトウェア最適化の2つのオプションを備えています。優れた材料互換性と動的圧力および温度制御により、原子炉は最高レベルの精度と再現性のために幅広い動作設定で動作することができ、自動組込みプロセスにより、メンテナンスの必要性を最小限に抑えた高速製造が可能です。