中古 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector XT #293649596 を販売中

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector XTは半導体処理に使用される反応チャンバーです。超高真空レベルを必要とするシーケンス固有の化学物質に対して、高いスループットと低コストを提供できます。NOVELLUS Vector XTは、アプリケーション固有の構成で高度な材料処理を行うための主要なツールであり、エッチングや成膜などの重要な製造ステップに最適です。統合機器として設計されたLAM RESEARCH Vector XTには、高度なRPC （Rapid Process Control）モジュールが付属しており、柔軟で正確なプロセス制御と信頼性の高い安全な操作が可能です。Vector XTの性能は、高いプロセス再現性と精度の提供により、従来のシステムを上回っています。LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector XTは、1つのチャンバーでマルチステップ処理を実行する機能を備えているため、複数の操作を短期間で完了できます。NOVELLUS Vector XTは、気相または液相のいずれかのシステムで構成することができ、さまざまなアプリケーションを可能にします。さらに、LAM RESEARCH Vector XTは高度な加熱/冷却システムを備えており、正確で再現可能な温度制御を可能にします。Vector XTには特許取得済みのマルチエフェクトタイプの排気ユニットも装備されており、排気の効率と均一性を最適化します。排気機の独特な設計は低い背景圧力との優秀な性能を可能にします。LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector XTの主な特徴は、基板とプロセス構成のユニークなシーケンスを可能にするユニークなチャンバジオメトリです。NOVELLUS Vector XTは、適切なプロセスガス、レーザー、ポンプで使用すると、高い精度とスループットを実現できます。優れた性能に加えて、LAM RESEARCH Vector XTは、高い信頼性、安全性、安定性を提供します。効率的な操作を確保するために、Vector XTはすべてのハードウェアおよびソフトウェアコンポーネントの厳しい品質管理を受け、定期的なソフトウェアアップデートを受けます。LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector XTは、SEMI S2、 S8、 S18、 MIL STD 45662を含む最新の要件と業界標準に準拠しています。NOVELLUS Vector XTは、半導体加工の優れた性能を提供するために設計された画期的な反応チャンバーです。その高度な機能と高精度の性能により、大規模および小規模製造プロセスに最適です。LAM RESEARCH Vector XTは、さまざまな業界で使用される先端材料の信頼性と費用対効果の高い生産を可能にします。