中古 LAM RESEARCH / NOVELLUS Vector XT #293627660 を販売中

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector XTは、高度な3D材料製造用に設計された高性能で完全に自動化された大気圧プラズマエッチングおよび蒸着システムです。NOVELLUS Vector XTは、最高速度、最高精度、最小ガス消費量を提供し、高収量、経済的かつ持続可能なプロセスを実現します。LAM RESEARCH Vector XTは、ガス/真空マニホールドを内蔵した自己完結型バッチ処理ツールで、最大12個のプロセスガスを同時に使用でき、製造要件に幅広い柔軟性を提供します。そのモジュラー設計は優れたプロセス制御を提供し、ユーザーに所有コストの削減、高スループット、再現性のあるプロセスを提供します。ベクトルXT原子炉の真空チャンバーは、直径10インチの円筒形のステンレス鋼構造です。その密閉シールは、手動ラッチと低圧窒素充填パージングソリューションの組み合わせによって維持されます。工具が新しいプロセスガスを必要とする場合、チャンバーの底にポンプで送り出す前にロードすることができ、迅速かつ効率的な遷移を可能にします。LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector XTは、基板の角度を調整するために利用可能な最速の二軸「z-theta」マニピュレータ（ロボットアーム）の1つを備えており、プロセスの微調整を可能にします。オンボードデジタルプロセスコントロールユニットには、エッチングおよび蒸着プロセスの自動実行を可能にする専用のハードウェアおよびソフトウェアコンポーネントが含まれています。これには、温度制御、反応ガスレート制御、RF電源、圧力曲線、ガスシーケンシング、ガス組成が含まれます。デュアル周波数RF電源は最大450ワット、交流パルスDC電源は最大300ワットを提供します。ユーザーフレンドリーなインターフェイスで設計されたNOVELLUS Vector XTのオペレータターミナルは、セットアップ、プロセス評価、データレビュー、パスワード保護、手動モードと自動モードの切り替えなど、さまざまな機能を提供します。近接センサー、ランプシステム、圧力モニターなど、安全機能も豊富です。ランプは部屋圧力、システム状態、ガス検出およびガス処理を示すように形成され、オペレータの安全を保障します。LAM RESEARCH Vector XTのチャンバーサイズは、最大450mm×450mm×300mmのサイズで、ウェーハ、PR基板、MEMSデバイス、その他の複雑な基板に適しています。独自のノズル形状により、20 Angstroms/secondの印象的な蒸着速度でエッチングおよび蒸着プロセスの均一性と再現性を実現します。結論として、Vector XTは、さまざまなエッチングおよび蒸着プロセスに適した多目的で耐久性のある大気圧プラズマ炉です。LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector XTは、高度な機能と複数の基板で動作する機能を備えており、ユーザーにクリーンで繰り返し可能な結果を提供し、所有コストを削減します。