中古 LAM RESEARCH / NOVELLUS VECTOR EXPRESS AHM #293813003 を販売中

LAM RESEARCH/NOVELLUS VECTOR EXPRESS AHMは、半導体材料処理のための最先端の多機能クラスタツールです。これは、化学蒸着（CVD）、物理蒸着（PVD）、プラズマ強化化学蒸着（PECVD）など、いくつかの種類の操作をサポートする高度な多室反応器システムです。NOVELLUS VECTOR EXPRESS AHMリアクターは、物理的な除活技術を使用して地形的に困難な基板上のバルク金属の成長を可能にするように設計されています。その洗練された設計により、蒸着時の処理パラメータ（ソース電力や温度など）を動的に制御することができます。これにより、正確なプロセスの安定性が維持されます。これは、時間の経過とともに再現可能で高品質な結果を得るために不可欠です。リアクタのチャンバのセットアップは、異なるプロセスフローと基板タイプで素早く変更できます。その浅い部屋はより高い沈殿率を支え、フィルム厚さのプロフィールのよりよい制御、大きい区域はより大きい基質を処理することを可能にします。マルチパターニング（MP）オプションにより、高度な3D構造のマルチコアまたはブリッジングトレンチの製造がさらに可能になります。これにより、マイクロエレクトロニクスアプリケーションに最適です。LAM RESEARCH VECTOR EXPRESS AHMには、プロセス制御システム（PCS）とカソードパックが含まれており、プロセスのリアルタイム監視を提供します。PCSにより、リアクタを目的のアプリケーションに簡単に構成することができ、正確なパラメータ設定と再現可能なプロセス結果を保証します。カソードパックには30種類以上のカソードコンフィギュレーションが含まれており、必要に応じてすばやく変更できます。このツールの自動化機能は、時間とリソースの使用率を最適化するのにも役立ちます。さらに、VECTOR EXPRESS AHMは、プロセス逸脱の場合にフェイルセーフ監視を備えた高度な安全システムを備えています。その堅牢でコンパクトな設計は、優れた冷却とシールドを提供し、その寿命と信頼性を高めます。最後に、ユーザーフレンドリーなインターフェースにより、原子炉を簡単かつ直感的に操作できます。全体として、LAM RESEARCH/NOVELLUS VECTOR EXPRESS AHMは、幅広い半導体材料加工のための革新的なソリューションを備えた先進的なマルチチャンバーリアクタシステムです。その洗練されたデザイン、優れた性能とユーザーフレンドリーなインターフェイスは、あらゆるマイクロエレクトロニクスアプリケーションにとって貴重な資産となります。