中古 LAM RESEARCH / NOVELLUS VECTOR EXPRESS AHM #293644141 を販売中

LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express AHMは、大量の半導体製造用に設計された先進的な高生産性化学蒸着炉です。高k誘電体や金属合金などの大面積の誘電体や金属を集積回路装置製造用に堆積させることができます。幅広い堆積プロセスにより、さまざまな用途や材料に対応できます。NOVELLUS Vector Express AHMはモジュール式の設計で、基板の取り扱いとスループットの要件を満たすために設置とセットアップが簡単です。ウェーハの積み降ろしが容易な大型自動カセットロードポートと、トラック用のコンベアベルトシステムを備えています。その高度な蒸着チャンバー設計には、プロセスの均一性を監視および制御するための計測装置と、プロセス条件を制御するための自動化されたソフトウェアが含まれています。LAM RESEARCH Vector Express AHMは、複数のガス入口バルブを備えており、幅広い蒸着プロセスをサポートします。また、前駆混合・配送システムを搭載しており、フィルム組成の精密な制御が可能です。これにより、蒸着化学が正確に満たされ、高品質のフィルムが得られます。フィルムの品質に加えて、Vector Express AHMは生産性に貢献する多くの機能も提供しています。その高い蒸着速度は、他のCVDリアクタよりも高い生産スループットを提供し、その高度なプロセス制御により、ウェーハ全体の均一性が保証されます。効率的な自動ウェーハハンドリングシステムにより、サイクルタイムと所有コストを削減します。全体として、LAM RESEARCH/NOVELLUS Vector Express AHMは、大量のICデバイス製造に理想的なCVD炉です。その高度な設計と機能は、高品質のフィルムの堆積のための信頼性と効率的なソリューションになります。プロセス制御、効率、安全性の完璧な組み合わせにより、最も要求の厳しいアプリケーションに最適です。