中古 LAM RESEARCH / NOVELLUS VECTOR EXPRESS AHM #293596604 を販売中

LAM RESEARCH/NOVELLUS VECTOR EXPRESS AHMは最先端の高効率リアクター装置です。この高度なシステムは、厳しい仕様を満たしながら、生産効率を最適化し、ダウンタイムを削減するように設計されています。NOVELLUS VECTOR EXPRESS AHMは、半導体業界で利用可能な最高のプロセス能力とパフォーマンスを提供します。統合されたマスフローコントローラは、プロセスの安定性と再現性を最大限に高めるように設計されています。LAM RESEARCH VECTOR EXPRESS AHMは、強力で直感的な制御アルゴリズムを備えたIntelligent Control Platform 2。0 （ICP2.0）を使用して、ユニットのパフォーマンスをリアルタイムで監視および調整し、結果を最適化し、コストのかかるプロセス逸脱を防止します。さらに、このマシンを使用すると、レシピを特定のウェーハにリンクするなど、マルチレシピのセットアップでプロセスの柔軟性を向上させることができます。このツールはまた、パフォーマンスのドリフトをすばやく検出し、直ちに是正措置を特定するための強力な計測および監視オプションを提供します。これには、予測保守とインテリジェントなプロセス制御のためのハードウェアおよびソフトウェア技術のユニークな組み合わせが含まれます。VECTOR EXPRESS AHMは、熱予算を最適化するために、高度な暖房および冷却技術を使用しています。このアセットの高効率熱交換器技術により、原子炉の均一な加熱と冷却が可能になり、生産歩留まりが向上します。材料の互換性に関しては、LAM RESEARCH/NOVELLUS VECTOR EXPRESS AHMは、超高純度および特殊材料の幅広い範囲に対応するように設計されています。これには、エキゾチックな生地、セラミックス、反応処理用の特殊プロセスガスが含まれます。NOVELLUS VECTOR EXPRESS AHMは、安全性評価された電源、防爆設計、自動予防保守および自己診断モデルなど、最新の安全基準を提供します。高度な技術とLAM RESEARCH VECTOR EXPRESS AHMの堅牢な設計の強力な組み合わせは、優れた性能と最高レベルのプロセス安定性を提供します。これにより、VECTOR EXPRESS AHMは、生産効率を最大化し、機器のダウンタイムを削減するために探している人に最適です。