中古 LAM RESEARCH / NOVELLUS Speed #9353432 を販売中

LAM RESEARCH/NOVELLUS Speedは、複雑、高温、高純度の化学プロセスを実行する際に、ハイエンドの処理性能と効率を提供する反応処理装置です。最大600°Cの最高温度で動作し、高レベルのシステム性能と品質管理を提供できるように設計されています。NOVELLUS Speed Reactorのコアコンポーネントは、プロセスチャンバー、デュアルガス源、プラズマ電源、および複数のウェハベーキングオーブンです。チャンバーは、処理に必要な高温に耐えるために必要な絶縁材をサポートする堅牢なステンレス製のシェルで構成されています。チャンバー内には、処理するウェーハを持つサセプターを保持する回転プラテンがあります。デュアルガス源は、プロセスの各ステップに必要なプロセスガスを供給します。プラズマ電源は、プロセスパラメータを正確に制御するために、プロセスガスをさらに精製するための高強度プラズマを作成するために使用されます。オーブンは、処理を改善し、望ましい結果を達成するために予熱および後熱ウェーハに使用されます。プラズマ強化プロセスのために、LAM RESEARCH Speedは、水素、酸素、窒素、アルゴン、アンモニア、塩素、および他のさまざまな化合物を含むさまざまなガスを扱うことができます。物理蒸着プロセスには、電子ビーム、ランプ、石英ボートなど、さまざまな揮発源が装備されています。LAM RESEARCH/NOVELLUS Speedは、NOVELLUSの処理速度（急速な温度上昇率による）、チャンバーの均一性、および安定したプロセスを作成するための極めて低圧、低エネルギー環境を提供する能力の点で優れた性能を提供します。さらに、LAM RESEARCH Speedは、複数のプラズマ源、高度な制御システム、高度な計測ユニットを通じて、堆積率、均一性、およびウェーハ収率の面で優れたプロセス性能を達成することができます。スピードは、高度なプロセス製造とデバイス製造のためのソリューションを求める人にとって理想的な選択肢です。LAM RESEARCH/NOVELLUS Speedは、堅牢な構造、精密制御、優れたプロセス品質を提供し、信頼性の高い高性能加工機をお探しのお客様に最適です。