中古 LAM RESEARCH / NOVELLUS Speed #9167146 を販売中

LAM RESEARCH/NOVELLUS Speedは、最高の柔軟性、最大限のスループット、優れた制御、優れた成膜均一性を、効率的でユーザーフレンドリーな設計で提供する革新的なバッチリアクターです。この原子炉は、高度なIC設計と製造のためのリソグラフィ統合に向けた大きな進歩を遂げています。この高度な原子炉は、1つのプラットフォーム内でエッチング、堆積、クリーニングなどの操作を行い、生産能力と複雑さをローカルにカスタマイズすることができます。原子炉は、窒化ケイ素、ポリシリコン、タングステンなどの高度な材料とアモルファスやスパッタ材料と一緒に表面のカスタム修正を可能にする複数のコンピュータ制御プロセスガスの組み合わせを使用して動作します。原子炉には、より速く、より制御され、より効率的なプロセスを容易にするいくつかのユニークなモジュールが装備されています。主要モジュールはデュアル電極システム（DES）です。DESは、プロセス条件を非常に正確に制御するとともに、より高いスループットレートを実現します。この原子炉には、さまざまな材料の蒸着特性を最適化する「スプリットジェット」ノズルシステムも装備されています。ノズルはまた、より均一なレイヤーカバレッジを可能にし、ビジネス全体の洗浄性能を向上させます。NOVELLUSこの原子炉の速度は、ウェーハやその他のプロセス部品を処理するための自動、高LAM RESEARCH Speedロボットを使用して、さらに増加しています。このロボットは、スループットを向上させ、手作業を削減し、汚染の可能性を排除します。リアクター独自のクロスフロー設計は非常に効率的で、最大限のウェーハ処理速度を提供します。また、電気・化学連結システム、緊急停止スイッチ、設定可能なプロセス処理、不活性ガス連結などの高度な安全機能を備えています。NOVELLUSリアクターは、ユーザーフレンドリーな設計と優れたプロセス制御を提供します。この原子炉は、他のプロセス部品と統合するために構築されており、最高の効率と柔軟性を持つ高度な半導体の生産を可能にします。