中古 LAM RESEARCH / NOVELLUS SABRE XT #293610192 を販売中
URL がコピーされました!
タップしてズーム
LAM RESEARCH/NOVELLUS SABRE XTリアクターは、高度な半導体製造プロセス向けに設計された高精度、低圧プラズマ処理装置です。この原子炉は、無線周波数プラズマと高温基板温度を使用することにより、表面改質とエッチング処理を行うことができます。NOVELLUS SABRE XT原子炉は、生産クラスのプラットフォーム上に構築され、独自のRFソース技術を搭載しており、優れたプロセス再現性と制御、プラズマ均一性の向上を可能にします。優れた表面品質とエッチングプロセスに対するサブアングストローム制御を実現します。基質は1000°Cまで温度に達することができる水晶ヒーターの版によって熱されます。プロセスガスは、インラインガスボックスを介してエッチング室に導入されます。ガスボックスラインは、ガス流量計、絶縁バルブ、クイックコネクト継手を備えたGGA（ガスゲージアセンブリ）に接続されており、メンテナンスが容易です。この原子炉はバッチ処理用に設計されており、最大4つの基板を同時に処理できます。LAM RESEARCH SABRE XTには、メンテナンス性の低いロードロックとカセットハンドラー、温度制御されたプロセスガス配電ボックスも装備されています。また、プロセスパラメータを監視するための高度な自動制御ユニットを備えており、処理時間の短縮、歩留まりの向上、プロセスの再現性と安定性の向上を実現しています。この機械の高度な性能、制御、および処理の一貫性により、SABRE XTリアクタは、高度な半導体生産のための費用対効果の高い信頼性の高いエッチングソリューションとなります。低圧プラズマ源、石英ヒーター板、均一な温度分布、およびインラインガス処理により、ナノスケールのデバイス製造に最適です。
まだレビューはありません