中古 LAM RESEARCH / NOVELLUS CONCEPT ONE #9079785 を販売中

LAM RESEARCH/NOVELLUS CONCEPT ONEは、NOVELLUSとLAM RESEARCH SYSTEMSによって開発されたグローバル共同ブランドの原子炉です。半導体デバイス製造などのマイクロリソグラフィ分野における高生産性、高精度エッチング用途向けに設計された、300mm （12インチ）の高度なステップアンドリピート装置です。NOVELLUS CONCEPT ONEは、基板表面全体に可動する高速、高温、遠隔プラズマ源を使用しています。これにより、高速なプロセス時間で高精度のパターニングとエッチング特性を実現します。高精度の独立したチャック機構により複雑なパターニングが可能で、エアベアリング部品は熱サイクルによる部品性能の劣化を受けずに優れた動きを提供します。LAM RESEARCH CONCEPT ONEには、さまざまなエッチング用途に適したアクセサリーが装備されています。まず、冷却システムには、ウェーハや電極を冷却するための大容量の液体窒素サブシステムが含まれます。これは、正確な温度制御と優れた均一性を提供します。第二に、プラズマ中に均一な電場を生成する「ドープ酸化物」RFジェネレータを搭載し、エッチングプロセスパラメータを精密に制御します。第三に、光学系には、基板上のターゲットパターンを高精度に整列させるための高解像度カメラが含まれています。CONCEPT ONEはまた、リアルタイムでエッチプロセス性能を測定するためのオンボード計測ツールのセットを誇っています。これらには、ライブレーザスキャナ、エッジプロファイルモニター、およびエッチングプロセスの有効性を評価し、パターン忠実度、インダイエッチプロファイル、エッチングレートなどの問題を提起する欠陥検出器が含まれます。さらに、LAM RESEARCH/NOVELLUS CONCEPT ONEには一連の監視機能が装備されており、オペレータに潜在的なプロセスの問題を警告するためのオンボードの視覚信号とオーディオ信号を提供します。NOVELLUS CONCEPT ONEは、特定のミーティングやエッチングアプリケーションのニーズに合わせた高度なターンキーエッチングおよびリソグラフィーソリューションをユーザーに提供します。自動化されたプロセス制御ソフトウェアは、すべてのパラメータを管理し、エッチングプロセスを監視し、最適な実行、歩留まりと信頼性の向上、ダウンタイムの最小化を実現します。全体として、LAM RESEARCH CONCEPT ONEは、幅広いエッチングおよびリソグラフィ用途に適した、高度で堅牢で信頼性の高いエッチング機です。オンボードメトロロジーツール、自動化されたプロセス制御ソフトウェア、高精度なパターニング、温度制御、独立したチャック機構により、マイクロリソグラフィ分野における高生産性、高精度エッチングアプリケーションに最適なソリューションです。