中古 LAM RESEARCH / NOVELLUS CONCEPT One-150 #293821999 を販売中

LAM RESEARCH/NOVELLUS CONCEPT One-150は、半導体産業における薄膜材料の高スループット蒸着用に設計されたマルチチャンバーリアクターです。4800 x 2400 mmのフットプリントに最大150個のプロセスチャンバーを搭載し、業界をリードする蒸着スループット速度、高いプロセス均一性、および最適化された機器構成を提供します。NOVELLUS CONCEPT One-150原子炉は、暗室が緩衝室と反応室になる、交互の明るい暗室多室構成の概念に基づいています。バッファチャンバーは、プロセス種がチャンバー全体に均等に蓄積して流れるようにすることによって、プロセスの均一性を維持するために使用されます。リアクタント室は、フィルム堆積層に必要な追加のリアクタント種を提供します。NOVELLUSリアクターは、いくつかの高度な処理能力を備えています。1100°Cまでの高温処理、1000 mTorrまでの圧力範囲が含まれます。これにより、より高い精度と高い精度の両方で材料を加工することができます。さらに、このシステムは、高スループット、薄膜蒸着プロセスが可能です。ユニットには、迅速なセットアップ、検証、レシピ管理を可能にする統合制御マシンも含まれています。コントロールツールには、迅速なパラメータ設定のための直感的なグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）と、詳細なレシピ管理、プロセス追跡、オペレーターロギングが含まれています。これにより、プロセスパラメータが一貫しており、本番稼働全体を通じて制御されます。LAM RESEARCH CONCEPT One-150原子炉は、堆積能力に加えて、さまざまな処理能力を提供します。また、ウェットケミカルエッチングやイオン注入技術を用いたウェハーの加工にも使用できます。さらに、ロボット資産は、迅速かつ安全な基板転送を可能にし、収容、ソート、および位置決めのプロセスとともに。最後に、CONCEPT One-150リアクターはオープンプラットフォームとして設計されており、工場のオートメーションシステムに簡単に統合できます。これにより、廃炉を最小限に抑えて完全に自動化された生産ラインに統合することができます。LAM RESEARCH/NOVELLUS CONCEPT One-150リアクターは、高度な加工機能、高スループット速度、統合制御モデルを備え、半導体産業における薄膜蒸着に最適なツールです。