中古 LAM RESEARCH / NOVELLUS Concept 3 Vector #9375284 を販売中

LAM RESEARCH/NOVELLUS Concept 3 Vectorは、世界的な半導体製造業向けに設計されたプラズマ強化化学蒸着炉です。これは、高度なテクノロジーノードの最も厳しい要求を満たすために構築されており、比類のないパフォーマンスを提供します。NOVELLUS Concept 3 Vectorには、独自の高アスペクト比シャワーヘッドとEtch Tubeアーキテクチャが組み込まれており、スループットに優れた最小のフィーチャージオメトリを処理できます。設計された均一性と高度なチャンバー設計は、高い再現性を提供し、お客様は最終製品の欠陥率を低減し、生産ニーズを合理化することができます。LAM RESEARCH Concept 3 Vectorは、包括的な電力制御、ペンダント、オフガス分別、プリシード機能を備えた柔軟なRF電源を利用しています。それは比類のない汎用性を提供し、さまざまなチャンバー、チャンバーサイズ、および基板材料で動作するように構成することができます。Concept 3 Vectorは、今日の高度なテクノロジーノードの最高プロセス温度および温度均一性要件を満たすように設計されています。また、厳格なプロセス制御を可能にする高度な冷却技術が含まれており、最高の製品品質と歩留まりを保証します。LAM RESEARCH/NOVELLUS Concept 3ベクトルはまた、広範なガス流量の柔軟性を提供します。包括的なガスラインと流通技術により、ベクトルは各膜形成前駆体を正確に管理し、サポートガスを必要とするため、幅広いプロセスに容易に調整できます。最後に、NOVELLUS Concept 3 Vectorは包括的な診断と組み込みツールを備えており、ユーザーは最高レベルの制御、精度、一貫性でプロセスを最適化できます。LAM RESEARCH Concept 3 Vectorは、ガスライン制御と温度プロファイリングからプロセスの最適化および予測保守機能まで、イノベーションの境界を押し上げるために必要なツールをお客様に提供します。