中古 LAM RESEARCH / NOVELLUS Concept 3 Vector #9261722 を販売中

LAM RESEARCH/NOVELLUS Concept 3 Vector （C3V）は、半導体デバイスの製造に使用する高品質の反応イオンを製造するために設計された、業界をリードするプラズマリアクター技術です。この技術は、高い蒸着速度で非常にエネルギーイオンを生成することができ、広い領域での超高蒸着均一性を可能にします。C3V原子炉は、一連の円形の格子とチャネルに囲まれた馬蹄形の主室で構成されています。メインチャンバーの中央には、電界を印加する環状正極があります。この電界では、アルゴンなどの中性ガスが陰極に与える影響によってイオンが生成されます。これらのイオンは、円形グリッドの1つを介して操縦され、さまざまな強度と長さのパルスフィールドのシリーズを介して指示されます。このパルス場の配列は、C3V炉が非常に均一な方法で非常にエネルギッシュなイオンビームを生成することを可能にします。その性能を最大限に引き出すために、C3V炉には電界から発生する熱を除去する冷却システムと、チャンバー全体で均一なプロセス条件を維持する自動圧力調整システムが装備されています。さらに、C3Vは、蒸着の均一性と再現性を確保するために、イオンビームのエネルギー、種、強度をリアルタイムで測定する複数の独立した検出システムを備えています。その高性能機能に加えて、C3Vは維持し、作動することは容易です、それは製作の適用の広い範囲のための優秀な選択をします。リアクターの高度な制御システムは、遠隔監視と制御も可能であり、すべての操作パラメータを最適なプロセス性能に合わせて調整することができます。全体として、C3Vは効率的かつ確実に実行され、大面積の堆積均一性、収率、および高い収率でのライフサイクル性能を提供します。C3V炉は、多くの半導体製造プロセスの業界をリードするソリューションです。