中古 LAM RESEARCH / NOVELLUS Concept 3 Vector #9261720 を販売中

LAM RESEARCH/NOVELLUS Concept 3ベクトルは、化学蒸着（CVD）や原子層蒸着（ALD）などの様々なプロセス用途に対応するように設計された原子炉の一種です。この先進的なCVD/ALDリアクターは、3ゾーンの熱環境を備えており、3つの暖房および冷却プレートでプロセス条件を調整することができます。NOVELLUS Concept 3 Vectorは、13。56MHzの誘導結合プラズマ（ICP）構成を備えた低圧プラズマ源で設計されています。これにより、均一なプラズマ生成と低紫外放射が可能になり、一貫性のある粒子サイズと成膜組成でプロセスの再現性が向上します。LAM RESEARCH Concept 3 Vectorは、プロセス室の迅速な避難を可能にし、プロセスサイクルに要する時間を短縮し、フィルムの粗さを低減します。さらに、Concept 3 Vectorは優れた反応ガス分配システムを備えており、均一な反応ガス輸送を通じて優れた高品質フィルムを提供します。LAM RESEARCH/NOVELLUS Concept 3ベクトルも超低酸化システムで設計されています。これは、酸化物低減の性能と所有コストの低コストのための三層コイルを利用しています。さらに、NOVELLUS Concept 3 Vectorは、高度な熱電モジュールを使用して設計されており、高速なターゲット温度ゾーンと再現性と精度の温度マッチングを保証します。LAM RESEARCH Concept 3 Vectorのプログラマブルロジックコントローラ（PLC）は、高性能なプロセス制御を提供し、正確で繰り返し可能なプロセスレシピを可能にします。その優れた設計により、Concept 3 Vectorは太陽電池、薄膜トランジスタ、ゲート誘電体などの材料の加工に最適です。LAM RESEARCH/NOVELLUS Concept 3ベクトルは、優れたフィルム均一性を提供しつつ、高速な処理時間と優れたプロセス再現性を提供します。革新的な設計により、超高密度メモリ、マイクロ電気機械システム（MEMS）ファウンドリ、BiCMOSウェーハにも最適です。NOVELLUS Concept 3 Vectorの優れた機能により、デバイスのパフォーマンスが向上し、生産歩留まりが向上します。その結果、エンドユーザーの利点により、LAM RESEARCH Concept 3 Vectorはさまざまな製造プロセスに有効な原子炉となります。