中古 LAM RESEARCH / NOVELLUS Concept 3 Vector Express #9294929 を販売中
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ID: 9294929
CVD System, 12"
Process: PESiN
VAT 075 Slit valve
VAT Pendulum valve
Signal tower
MC3 Module controller
EMO
Host interface: SECS
LCD Monitor, 12"
Process module:
Chamber body
Chamber process: PESION
Process clean type: RPC
BROOKS AUTOMATION Fixload 6M Pod loader
MC3 Module controller
SMC Load lock slit valve
C2027-D01 Trust controller
VAT Pendulum pressure control valve
VAT 075 ATM Load lock valve
AX7645 RPC Generator
Servo spindle lift
ADVANCED ENERGY APEX-5513 HF Generator
CLX2500 LF Generator
Navigator 10013 RF Match
LTM Assembly, P/N: 02-169180-01 Rev E
RF Interface B/D, P/N: 26-164535-00
Chamber gas box:
MFC Number / Name / Size / Make / Model
MFC 1 / SiH4 / 1.5 SLM / BROOKS AUTOMATION / 6256S
MFC 2 / N2O / 10 SLM / BROOKS AUTOMATION / 6256S
MFC 5 / He / 20 SLM / BROOKS AUTOMATION / 6256S
MFC 6 / NH3 / 1 SLM / BROOKS AUTOMATION / 6256S
MFC 7 / N2O / 25 SLM / BROOKS AUTOMATION / 6256S
MFC 8 / O2 / 30 SLM / BROOKS AUTOMATION / 6256S
MFC 9 / NF3 / 10 SLM / BROOKS AUTOMATION / 6256S
MFC A / N2O / 1.5 SLM / BROOKS AUTOMATION / 6256S
MFC C / Ar / 10 SLM / BROOKS AUTOMATION / 6256S
MFC D / N2 / 10 SLM / BROOKS AUTOMATION / 6256S
Missing parts:
Load lock dry pump
Turbo molecular dry pump
Module dry pump
UPS Power: 120 V, 3 Phase, 3-Wires
Power supply: 208 V, 3 Phase, 5-Wires
2005 vintage.
LAM RESEARCH/NOVELLUS Concept 3 Vector Expressは、半導体デバイスの製造能力とスループットを向上させるために設計された画期的なプラズマ処理炉です。Vector Expressリアクターは、複雑な生産タスクのパフォーマンスを最大化するために革新的なアーキテクチャを使用します。4個の独立したプラズマチューブを使用し、それぞれがフルスケールのプラズマエッチングチャンバーと同等の高出力プラズマを供給できます。これらのプラズマチューブは、プロセスをバッファリングする最先端の設計に統合されており、より効率的なイベントタイミング、サイクルタイムの向上、メンテナンスの最小化を可能にします。さらに、Vector Expressは、プラズマ源に不活性ガスと反応性ガスを直接供給するオンボードガスマニホールドを備えています。この機能により、より正確なプロセスパラメータが可能になり、より長い稼働時間が可能になり、スループットが向上し、再現性が向上します。また、Vector Expressは非常に頑丈で信頼性の高いサセプタプレートを備えており、ポストプロセス冷却時の熱衝撃に耐えることができ、エッチング結果の均一性に優れています。最後に、この原子炉には圧力を制御するための新しい革新的なシステムが装備されており、これはチャンバが常に最適な圧力環境下で動作していることを保証し、より高い収率と製品品質の向上につながります。NOVELLUS Concept 3 Vector Expressは、半導体デバイス製造のための信頼性の高い高性能プラズマ処理ソリューションを保証します。
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