中古 LAM RESEARCH / NOVELLUS Concept 3 Vector Express #9281507 を販売中

LAM RESEARCH/NOVELLUS Concept 3 Vector Expressは、誘電材料の層を半導体ウェーハに堆積させるために特別に設計された高度な原子炉です。この革新的な設計は、一貫した均一性を備えた高いスループットを提供し、最も要求の厳しい生産要件を満たすことができます。Vector Expressは、2つの異なる領域を持つ2段プラズマ原子炉を備えています。1つ目の領域は、低消費電力と高消費電力の両方で動作可能な高真空領域です。このチャンバーの高出力レベルは、より高い沈着率と材料沈着の均一性を可能にします。2つ目の領域は低真空領域で、汚染を最小限に抑え、均一性を制御するように設計されています。Vector Expressの3番目の領域は排気領域であり、処理中にウェーハを完全に分離し、システムから不要な粒子やガスを除去するのに役立つように設計されています。Vector Expressリアクターは、プレヒーター/ポストアニーラーチャンバー、バイアススパッタ、電子サイクロトロン共鳴チャンバー、真空真空チャンバーの4つの主要コンポーネントで構成されています。プリヒーター/ポストアニーラー室は、赤外線ランプと熱い窒素ガスを使用して、それぞれバイアススパッタプロセスの前後にウェーハを加熱します。バイアススパッタチャンバーには、ウェーハを低消費電力レベルで爆撃する静電界が装備されており、材料の精密で均一な層の堆積が可能です。電子サイクロトロン共鳴チャンバは、高周波の電波を利用して周囲ガス中の原子を励起させ、優れた偏光特性を持つ誘電材料を堆積させることができるプラズマ環境を作り出します。最後に、真空チャンバーを使用してプロセス全体に非常にクリーンな環境を提供し、堆積物の汚染を最小限に抑えます。NOVELLUS Concept 3 Vector Express from NOVELLUSは、半導体ウェーハに誘電体を迅速かつ正確に堆積させることができる画期的なリアクタです。この高度な設計により、高い均一性を持つ信頼性の高いチップセットを製造するために必要な時間とリソースを大幅に削減できます。ベクターエクスプレスは、低出力と高出力の両方のレベルで動作することができ、より効率的な堆積率と堆積物のより高い均一性を可能にし、原子炉は最も要求の厳しい生産要件を満たすことができます。Vector Expressは、静電場、無線周波数波、クリーンな環境を利用することで、材料の均一な蒸着を実現し、信頼性の高い高性能チップセットの製造を可能にします。