中古 LAM RESEARCH / NOVELLUS Concept 3 Vector Express #9257029 を販売中
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ID: 9257029
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2007
System, 12"
Process: Advanced ashable hard mask
Interconnect cable length: 75 Feet
Primary user: Interface flat panel
Right load lock pump
Express load lock pump
Light tower audio buzzer
Wall / Flash mount
Atmospheric robot: Friction end effector
Options:
Signal tower
IMM Readiness option over left load lock
Third FOUP
(3) FOUP RF ID readers
FA Communication interface
Advanced AHM deposition kit
EBR Capable load lock
Pressure display
Heated process manometer
Leak check shut off valve
No HDD
2007 vintage.
LAM RESEARCH/NOVELLUS Concept 3 Vector Expressは、高精度アプリケーションに使用される抵抗エッチング炉です。この高度なツールは、エッチングパラメータを優れた制御を提供し、複雑な設計でも細かいエッチング形状を可能にします。Vector Expressは、250mmのウェーハ容量を備えており、高スループットでの動作が可能です。さらに、ウェーハと真空チャック間の信頼性の高いプロセス接続を提供するEndurium™接合装置で構成されています。ベクトルエクスプレスにはカスタマイズ可能なロボットアームが装備されており、エッチング工程の正確な位置決めが可能です。このロボットアームは、endurium™結合システムと組み合わされ、X、 Y、 Z軸で最大30mmの移動が可能です。また、3Dスキャンヘッドを備えており、ウエハ形状を容易に感知し、それに応じてエッチプロファイルを調整することができます。Vector Expressは、エッチングプロセスを複数のステップでプログラムすることができ、精度とプロセス制御を微調整することができます。さらに、デュアル（プラズマとバイアス）ソースとデュアルRFジェネレータを内蔵することで、非常に小さな線幅とコーナーのチューナビリティで非常に複雑な3次元パターンをエッチングすることができます。機械はまたよいプロセス再現性を提供します。これは、パージと排気チャンバーとして機能する2つの追加チャンバーが追加されたため可能です。これは、チャンバー汚染を低減し、時間の経過とともにプロセスの安定性を高めるのに役立ちます。これらの追加機能とその汎用性の高いソース構成は、優れたパフォーマンスとプロセスの柔軟性をユーザーに提供します。さらに、コンパクトなデザインとパワフルなパフォーマンスにより、Vector Expressは精密エッチングプロセスやアプリケーションに最適です。
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