中古 LAM RESEARCH / NOVELLUS Concept 3 Vector Express #9241174 を販売中

LAM RESEARCH/NOVELLUS Concept 3 Vector Expressは、ウェーハの生産において比類のないプロセス制御と均一性を提供する高性能バッチリアクター装置です。システムには自動化されたインターフェイスがあり、ユーザーはプロセス要件の変更に応じて設定を簡単に設定および変更できます。それはプロセス温度の精密制御および著しく高められたウェーハの収穫および均一性を提供する多数の部屋およびフィラメントの暖房機能が装備されています。Vector Expressは、精密に制御された暖房と冷却アーキテクチャで設計されており、正確で繰り返し可能な放電とエッチングを提供します。このユニットは、プラズマ強化化学蒸着（PECVD）機能を内蔵したユニークな長方形のチャンバーを備えており、熱損傷を最小限に抑えて層ごとにウェーハを蓄積できます。高周波パワーと飛行時間の質量分析を組み合わせて、ウェーハフィルム特性を確実に調整します。このユニークな原子炉は、中断することなく最大7日間実行できるバッチプロセスで高スループットを実現します。また、排気濾過を可能にする複数のガスキャビネットを使用して、最高品質の結果を保証します。Vector Expressは、ウェーハ表面からの粒子損失を最小限に抑える効率的な排気装置を備えています。このツールには、潜在的な汚染や構造上の問題を防ぐためのいくつかの安全および監視機能も含まれています。これらの機能には、光学アライメント検証、可燃性ガスの放出のためのリークモニタリング資産、およびウェハの表面温度の均一性を維持する温度監視モデルが含まれます。全体的に、NOVELLUS Concept 3 Vector Expressは、プロセス制御と均一性、高スループット、正確なウェーハの蓄積、および強化された安全性と監視機能を提供する信頼性の高い高性能リアクタです。ユーザーが温度やエッチングを正確に制御し、迅速に再現可能な結果を得ることができる高度な技術を利用しています。Vector Expressに頼ることで、生産ラインはプロセスの歩留まりを増やし、コストを削減できます。