中古 LAM RESEARCH / NOVELLUS Concept 3 Vector Express #293618620 を販売中

LAM RESEARCH/NOVELLUS Concept 3 Vector Expressは、生産環境向けに設計された堅牢な原子炉です。洗練された真空ベースのプラットフォームを使用して、比類のないレベルの性能、効率、および信頼性を提供する先進的な機器です。その革新的な設計は、ガスとプラズマを広い表面積に分散させ、均一性を高めるために統合ベクトル化システムを使用しています。このユニットは完全に自動化され、高度な診断機能とリアルタイムのプロセス監視機能を備えています。洗練された制御装置により、正確な熱バランシング、圧力制御、室内清潔を実現します。NOVELLUS Concept 3 Vector Expressは、効率的な薄膜蒸着に適しています。RFジェネレータ、ポンプインターフェイス、カスタマイズされたプロセスチャンバー排気、プラズマ診断、フルオートメーションが含まれています。LAM RESEARCH Concept 3 Vector Expressの特徴は、統合ベクトル処理ツールです。これは、ターゲット基板の表面にプラズマなどのガスを均等に配分する強力なガス制御スターブのセットです。反応過程でもフィルムの均一性を高めます。また、ボトムタイムを増加させ、プロセス全体の効率を向上させます。革新的なプロセスガス制御アセットは、迅速な応答時間、ガス組成の正確な制御、および改良されたモデルの清潔性を提供します。これにより、チャンバー全体で最適な環境バランスが維持され、材料品質が向上します。この装置の高度な診断により、プラズマパラメータと基板品質のリアルタイム解析も可能になります。コンセプト3ベクターエクスプレスは、耐薬品性、耐熱性に優れた耐久性材料で構成されています。これにより、幅広い生産プロセスに対応できるようになります。また、統合された安全システムと組み込み機能を備えており、メンテナンスコストを削減します。LAM RESEARCH/NOVELLUS Concept 3 Vector Expressは、生産性と信頼性を向上させるために設計された注目すべき原子炉です。高度なプロセスガスコントロールユニット、統合ベクター加工機、高度な診断機能により、精密な基板沈着および制御プロセス条件を実現します。その耐久性のある材料と統合された安全システムは、長期的な性能と信頼性を保証します。これにより、生産環境にとって魅力的な選択肢となります。