中古 LAM RESEARCH / NOVELLUS Concept 3 Altus Max #293650146 を販売中

LAM RESEARCH/NOVELLUS Concept 3 Altus Maxは、高度なデバイス製造に必要な高品質の結果をプロセスエンジニアが達成できるように設計された原子層成膜（ALD）ツールです。Altus Maxツールは、革新的な設計とフルオートメーション機能により、高い生産性と低コストで設計されています。Altus Maxは、真空と蒸着ドライバを含むプロセスチャンバーです。チャンバーは最大2つの原子炉を持ち、複数のチャンバーを同時に実行することができます。このシステムには、生産サイクルを中断することなく、チャンバー、ウェーハ、コンポーネントのモジュール交換を可能にする完全なロボット自動化もあります。Altus Maxシステムの主な特徴は、ALDを使用して高品質の薄膜を堆積することです。この洗練されたプロセスは、ウェーハ表面に2つの別々の前駆体を連続的に積層することを含みます。前駆体は、自己組立単体（SAM）または気化気化前駆体のいずれかであることができる。このツール用に開発されたソフトウェアは、層ごとの精度と再現性のあるプロセス性能を可能にします。Altus Maxで採用されているALDプロセスは非常に汎用性が高く、高度なパッケージング、メモリデバイス、MEMSコンポーネントなど、さまざまなアプリケーションの技術ニーズに合わせて調整することができます。工具レンジ30〜1000ウェハ/時間で実現した生産レートにより、生産量の容易なスケールアップが可能です。Altus Maxは信頼性の高いツールであり、信頼性の高いプロセス結果の実績があります。このソフトウェアはユーザーフレンドリーなインターフェースと完全なレポート機能を備えており、すべてのコンポーネントはメンテナンスを最小限に抑えて長寿命に設計されているため、大量生産でも低コストで提供されます。Altus Maxは、研究および生産アプリケーションの両方において、高品質の結果と再現性のあるプロセス性能を保証するように設計された、NOVELLUSのラインアップにおける強力で信頼性の高いツールです。これは、高度なデバイスを製造するための信頼性が高く、費用対効果の高い方法を提供し、真の投資収益率を提供します。