中古 LAM RESEARCH / NOVELLUS CONCEPT 2 #293812831 を販売中

LAM RESEARCH/NOVELLUS CONCEPT 2リアクターは、複雑な半導体製造プロセスのために特別に設計および製造された先進的なクラスタツールです。強力な機能とファブリックを最大限に活用することで、設計者はプロセスの効率と信頼性を最大限に高めることができます。NOVELLUS CONCEPT 2は、約72 「x 78」を測定し、高密度用途に適した300ミルチップサイズを実現しています。利用可能な多数の基板構成により、同じハードウェア上で複数のプロセスを実行できます。この装置には、プロセスの安定性と効率的な操作を提供する高度なプロセス制御監視システムが付属しています。LAM RESEARCH CONCEPT 2ユニットの利点の1つは、1サイクルで複数のプロセスを実行できることです。これにより、製造メーカーはより高い生産性と複雑な集積回路構造を生成する能力を達成することができます。また、複数のプロセス機能により、各ウェーハに複数のプロセスポイントが存在するため、より厳しいリソグラフィ制御が可能になります。さらに、本機の動作環境は、ガスプリクリーンおよび排気機能により、他の原子炉よりも清潔です。この機能は、プロセスの完全性を維持するだけでなく、クロスプロセスの汚染や製品の汚染を防ぐのにも役立ちます。自動化されたウェーハトランスポート/ローディングプラットフォームは、高いスループットと高い精度を提供し、自動負荷イネーブルメント機能とともに、処理時間の短縮に役立ちます。CONCEPT 2のもう1つの重要な利点は、in-situ計測機能です。このデバイスは、光学および電気検査ステーションの両方を含むように設計されており、高速で正確な測定を可能にします。Metrology Metrics Analyzerは、正確な欠陥検出とテストを保証します。LAM RESEARCH/NOVELLUS CONCEPT 2クラスタツールは、製造メーカーのプロセス性能と歩留まりの最大化を支援する最先端のプロセス技術です。その柔軟性と高度な機能により、スループットと信頼性を高めると同時に、コストを削減する絶好の機会となります。これは、信頼性の高いプロセス安定性、包括的な機能、クリーンな動作環境により、あらゆる半導体メーカーにとって貴重な資産です。