中古 LAM RESEARCH / NOVELLUS Concept 2 Dual Speed Sequel #9251471 を販売中

LAM RESEARCH / NOVELLUS Concept 2 Dual Speed Sequel
ID: 9251471
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2000
CVD System, 8" 2000 vintage.
LAM RESEARCH/NOVELLUS Concept 2 Dual Speed Serceelは、反応性材料と非反応材料の両方の光学および熱密化処理に対応する高度な高性能技術システムです。デュアルスピード、シーケンシャル動作機能を備え、高いスループット密度処理を実現します。大規模および小規模の研究および製造アプリケーションの両方のニーズを満たすように設計されています。完全なシステムには、結合されたシステムコントローラとプログラムジェネレータ、および2つのリンク可能な反応チャンバーモジュールが含まれています。最初のチャンバーモジュールは、2つの加熱ステージを利用した一次加工に使用されます。2番目のものは、原子層の堆積などのサイドフロー、密化プロセスに使用されます。これは、フィルム、コーティング、およびその他の材料のターゲット密度を提供します。Concept 2には、複数の応答データのロギングと分析、および反応プロセスの究極の制御とカスタマイズのためのカスタムプログラマビリティ機能が装備されています。自動化された制御とフィードバックのための内部および外部ロボットアームを備えており、素材の迅速かつ簡単な挿入と除去を可能にします。マニピュレーターはまた、運転中に原子炉の適切な距離と高さが維持されることを保証します。このConcept 2は、高密度処理と精密工学の両方を必要とするアプリケーションに適しています。また、デュアルスピードのシーケンシャル操作も可能で、複数の材料を同時に高速で処理することができます。高度な技術と堅牢な機能を備えたConcept 2は、研究および製造のニーズに対して信頼性が高く、エネルギー効率に優れたソリューションを提供します。
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