中古 LAM RESEARCH / NOVELLUS Altus #9270871 を販売中

LAM RESEARCH/NOVELLUSアルタスは、薄膜蒸着に使用される先進的な原子炉です。精密で高性能な薄膜成膜プロセス向けに設計されており、優れたプロセス安定性と再現性を実現しています。このタイプの原子炉は、数十のアングストロームから数百のアングストロームまでの厚さのフィルムを堆積させるように設計されており、幅広い先進的な用途に適しています。NOVELLUS Altus Reactorは、高度で反復可能なチャンバー技術を表すARC技術を使用しています。この技術は、再現性と均一な結果を提供するためにチャンバー内の化学環境を最適化します。これには、マルチゾーン温度制御、低圧前駆体、ガス蒸着フラックスの非常に均一な分布などの機能が含まれ、プラズマ補助化学蒸着（別名PECVD）の理想的な環境を作り出します。LAM RESEARCH Altusリアクターを使用する主な利点は、蒸着プロセスの精度と、フィルムの品質と厚さの両方で一貫した結果です。また、高性能なデータ収集システムを搭載しており、圧力、温度、ガス組成、蒸着速度などのプロセスパラメータをリアルタイムで監視できるため、プロセスを最適化することができます。Altusリアクターは、さまざまな業界やアプリケーションで使用できる汎用性の高いツールです。精度と再現性により、正確な薄膜蒸着が不可欠なエレクトロニクス、エネルギー、医療産業に最適です。その他のアプリケーションには、MEMS、エネルギー収穫、ウェアラブルなどがあります。LAM RESEARCH/NOVELLUSアルタス炉は、多数のアプリケーションで使用されてきた信頼性と費用対効果の高いツールです。その精密かつ再現性のある結果は、エレクトロニクスから医療、エネルギーまで、多くの産業で使用されてきました。その堅牢な設計と信頼性の高い性能により、高度な薄膜蒸着プロセスに最適です。