中古 LAM RESEARCH Inova #293597139 を販売中

LAM RESEARCH Inovaは、高度な半導体デバイス製造用に設計された高性能エッチャー/アッシャー装置です。この最先端のシステムは、基板の大容量バッチ処理用に設計されており、生産用の高スループット、クローズドチャンバー設計を備えています。ガスエッチングとプラズマ誘導エッチングの両方に対応する機能を内蔵しているため、さまざまな高度なエッチング用途に最適です。Inovaのチャンバー設計は、セラミック絶縁体によって分離され、並列に処理することができる2つの真空チャンバーで構成されています。スループットを最適化し、プロセスの柔軟性を最大限に高めます。プラズマエッチングまたはイオン誘導材料除去を可能にするために、追加のイオン源チャンバーが提供されます。アダプティブチャンバー設計により、高い柔軟性を備えた高レベルおよび低レベルのエッチングレシピを実現できます。このマシンのハードウェアには、レーザーのような異方性を持つコリメートされたソースが含まれており、最高のエッチング率、効率的な基板洗浄、および最高品質のエッチプロファイルを提供します。これは、反応チャンバ、電源、ガスおよび/またはプラズマ源、負荷/アンロードツール、温度および圧力制御、およびビジョンシステムなど、さまざまな統合モジュールと組み合わされています。LAM RESEARCH Inovaは素早く簡単な基板ローディング用に設計されており、カードリーダーを含む完全に統合されたセキュリティ資産は、生産中のプロセスレシピを保護するのに役立ちます。Software for Inovaプラットフォームを使用すると、ロードロック制御、レシピ開発、実行制御、プロセス最適化など、モデルのすべての側面を単一のGUIから制御できます。このソフトウェアは、リモート監視、トラブルシューティング、パフォーマンスの最適化、および統計プロセス制御にも使用できます。全体として、LAM RESEARCH Inovaは、基板の大量バッチ処理用に特別に設計された高度なエッチャー/アッシャー装置です。ハードウェアとソフトウェアの組み合わせ、統合されたセキュリティと高度なチャンバー設計により、ハイレベルおよびローレベルのエッチングレシピに最適です。汎用性と堅牢な性能を備えたInovaは、幅広い高度なエッチング用途に適しています。