中古 LAM RESEARCH Inova #293597136 を販売中

LAM RESEARCH Inovaは、精密プラズマエッチングおよびアッシング用途向けに設計されたエッチャー/アッシャー装置です。これは、高度なPECVD（プラズマ強化化学蒸着）システム、二重温度機能とエッチングやアッシングのためのレシピの広い範囲を備えています。このユニットは、エッチングまたはアッシングウエハに優れた均一性と再現性を提供します。また、エッチングまたはアッシング時にウェーハを監視する高度な光学カメラマシンを備えており、エッチングまたはアッシング条件に対するリアルタイムのフィードバックを可能にします。Inovaエッチャー/アッシャツールは、プラズマエッチングとアッシングのための低コストで高性能な資産であるように設計されています。これは、信頼性の高いエッチングまたはアッシング結果のためのプラズマ環境の正確な調整を可能にする自動ガス密度制御モデルを備えています。PECVD装置は、精密に制御された厳密に制御されたプラズマ環境を提供することにより、ウェーハ全体に均一なエッチングまたはアッシングを提供します。LAM RESEARCH Inovaは、エッチングまたはアッシングアプリケーションに必要な正確な温度を迅速かつ簡単に選択できるデュアル温度機能を備えています。デュアル温度オプションを使用すると、エッチングまたはアッシングプロセスを正確に制御できます。Inovaはまた、エッチングまたはアッシング中にウェーハを監視する高度な光学カメラシステムを備えています。これにより、エッチングまたはアッシング条件に対するリアルタイムのフィードバックが可能になり、ユーザーにエッチングまたはアッシングプロセスに関する詳細な情報を提供します。LAM RESEARCH Inovaは、ユーザーにさまざまなエッチングまたはアッシングのオプションを提供するエッチングまたはアッシングのための幅広いレシピを提供しています。また、スループットを向上させ、ダウンタイムを短縮し、エッチングまたはアッシングデータの再生を改善する自動カセットアーキテクチャを備えています。これにより、ユーザーは最適なエッチングまたはアッシング結果のために条件を微調整することが容易になります。Inovaは、プラズマエッチングやアッシングなどの高温および高真空プロセスで使用するために設計されています。これは、最高レベルの精度、再現性、均一性を提供しながら、さまざまなエッチングまたはアッシングのオプションをユーザーに提供するように設計されています。高度な機能とレシピを備えたLAM RESEARCH Inovaは、エッチングやアッシングプロセスに最適です。